[實用新型]全自動雙頭四臂固晶機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022083072.0 | 申請日: | 2020-09-23 |
| 公開(公告)號: | CN212783498U | 公開(公告)日: | 2021-03-23 |
| 發(fā)明(設計)人: | 胡新榮 | 申請(專利權)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/48 | 分類號: | H01L33/48;H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518101 廣東省深圳*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 全自動 雙頭四臂固晶機 | ||
1.全自動雙頭四臂固晶機(100),包括機臺(10),其特征在于:所述機臺(10)上設有進料組件(20)、兩組供晶組件(30)、兩組固晶組件(40)、調(diào)節(jié)組件(50)、夾具平臺(60)以及出料組件(70);所述進料組件(20)和出料組件(70)設置于所述機臺(10)的前后兩端用于進料和出料,夾具平臺(60)設置于所述機臺(10)的中部,用于輸送基板并驅(qū)動所述基板于所述固晶組件(40)處移動,所述兩組供晶組件(30)對稱設置于所述夾具平臺(60)的左右兩側(cè)用于提供晶片,所述兩組固晶組件(40)對稱設置于所述夾具平臺(60)左右兩側(cè)的上端,用于從所述供晶組件(30)拾取晶片然后固定到基板上,所述調(diào)節(jié)組件(50)固定于其中一組固晶組件(40),用于調(diào)節(jié)擺臂(443)與固晶位的相對位置。
2.如權利要求1所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:所述全自動雙頭四臂固晶機(100)包括兩組固晶組件(40),所述固晶組件(40)對稱設置于所述夾具平臺(60)上端的兩側(cè),所述兩組固晶組件(40)中的一組設有調(diào)節(jié)組件(50),用于橫向微調(diào)雙擺臂組件(44)的位置,進而調(diào)節(jié)擺臂(443)與固晶位的相對位置,使吸嘴位于固晶位正上方。
3.如權利要求2所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:所述固晶組件包括固晶立柱(41)、取晶鏡頭(42)、固晶鏡頭(43)以及雙擺臂組件(44);所述取晶鏡頭(42)、固晶鏡頭(43)以及雙擺臂組件(44)均安裝于所述固晶立柱(41)上,所述取晶鏡頭(42)和所述固晶鏡頭(43)分別安裝于所述雙擺臂組件(44)左右兩側(cè),所述取晶鏡頭(42)用于協(xié)助所述雙擺臂組件(44)從供晶組件(30)處拾取晶片,所述固晶組件(40) 用于協(xié)助所述雙擺臂組件(44)將晶片精確地固定在基板的固晶位上。
4.如權利要求2所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:所述兩組固晶組件(40)分別包括兩個擺臂(443),固晶時,兩組固晶組件(40)能夠同時對同一件基板進行固晶,進而實現(xiàn)四個擺臂同時對同一件基板進行固晶。
5.如權利要求1所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:所述調(diào)節(jié)組件(50)包括調(diào)節(jié)驅(qū)動機構(51)、調(diào)節(jié)底座(53)以及調(diào)節(jié)滑板(54),所述調(diào)節(jié)底座(53)安裝于所述固晶立柱(41)上,所述調(diào)節(jié)滑板(54)滑動安裝于所述調(diào)節(jié)底座(53)上,所述調(diào)節(jié)滑板(54)與所述調(diào)節(jié)驅(qū)動機構(51)相連,以通過所述調(diào)節(jié)驅(qū)動機構(51)驅(qū)動所述調(diào)節(jié)滑板(54)移動,進而帶動安裝于所述調(diào)節(jié)滑板(54)上的擺臂(443)橫向微調(diào),移動至固晶位的正上方。
6.如權利要求5所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:所述調(diào)節(jié)組件(50)還包括緊固器(52),所述緊固器(52)安裝于所述調(diào)節(jié)滑板(54)上。
7.如權利要求5所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:所述調(diào)節(jié)底座(53)上設有導向塊(531),所述調(diào)節(jié)滑板(54)上安裝有與所述導向塊(531)配合的移動塊(541),通過所述導向塊(531)與所述移動塊(541)的配合,以引導所述調(diào)節(jié)滑板(54)在所述調(diào)節(jié)底座(53)上平穩(wěn)滑動。
8.如權利要求1所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:所述夾具平臺(60)包括第一橫向平臺(61)、第一縱向平臺(62)以及夾具組件(63),所述第一縱向平臺(62)設置于所述第一橫向平臺(61)上并被所述第一橫向平臺(61)驅(qū)動做橫向移動,所述第一縱向平臺(62)上設有所述夾具組件(63)且所述夾具組件(63)在所述第一縱向平臺(62)上做縱向移動。
9.如權利要求1所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:兩組供晶組件(30)對稱設置于所述夾具平臺(60)的左右兩側(cè)用于提供晶片。
10.如權利要求9所述的全自動雙頭四臂固晶機,其特征在于:所述供晶組件(30)包括儲料單元(31)、供晶單元(32)和機械手單元(33),其中,所述儲料單元(31)用于存放具有晶片的固定環(huán)(311)以及運送固定環(huán)(311);所述供晶單元(32)設置于取晶鏡頭(42)的底部,用于鎖定固定環(huán)(311)和將晶片從固定環(huán)(311)上分離出來;所述機械手單元(33)設置于所述儲料單元(31)和所述供晶單元(32)的旁側(cè),用于將固定環(huán)(311)在所述儲料單元(31)和所述供晶單元(32)之間往復運送。
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