[實用新型]一種用于長晶設備的水循環冷卻裝置

有效

• 申請號: 202022082751.6
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN213357809U
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 吳志亮;梁維
• 申請（專利權）人: 江蘇元素六鉆石科技有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B25/00;F25D17/02
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 孫騰

本實用新型涉及一種用于長晶設備的水循環冷卻裝置，所述長晶設備包括長晶腔，其內安裝有長晶平臺，長晶平臺為圓形，其外套裝有圓環；其特征在于，所述水循環冷卻裝置包括不銹鋼圓桶，圓桶固定安裝在長晶腔內，所述長晶平臺的下表面上設置有圓槽，圓槽與長晶平臺同心，所述圓桶上端伸入圓槽內，與之嵌合并支撐長晶平臺，所述水循環冷卻裝置還包括不銹鋼進水管、不銹鋼出水管，進水管、出水管分別穿過長晶腔伸入長晶腔內，并分別穿過圓桶的下表面伸入圓桶內，進水管伸入圓桶底部，出水管伸入圓桶頂部；所述進水管、出水管分別通過管道連接外置水箱，且在與進水管相連的管道上安裝有水泵；冷卻效果好。

技術領域

本實用新型涉及一種長晶設備，具體涉及一種用于長晶設備的水循環冷卻裝置。

背景技術

長晶過程可以概括為在密閉的空間內制造出真空狀態通入所需的氣體使用微波系統產生微波經過共振腔于被加工物表面生產晶體；其往往會伴隨產生高溫，而高溫環境會抑制長晶流程的進行。

發明內容

本實用新型提出一種用于長晶設備的水循環冷卻裝置。

本實用新型的技術方案：

一種用于長晶設備的水循環冷卻裝置，所述長晶設備包括長晶腔，長晶腔內安裝有長晶平臺，長晶平臺為圓形，其外套裝有圓環；所述水循環冷卻裝置包括不銹鋼圓桶，圓桶固定安裝在長晶腔內，所述長晶平臺的下表面上設置有圓槽，圓槽與長晶平臺同心，所述圓桶上端伸入圓槽內，與之嵌合并支撐長晶平臺，所述水循環冷卻裝置還包括不銹鋼進水管、不銹鋼出水管，進水管、出水管分別穿過長晶腔伸入長晶腔內，并分別穿過圓桶的下表面伸入圓桶內，進水管伸入圓桶底部，出水管伸入圓桶頂部；

所述進水管、出水管分別通過管道連接外置水箱，且在與進水管相連的管道上安裝有水泵。

啟動水泵，冷卻水經由進水管注入圓桶內，再由出水管流出，循環流動，并通過圓桶與長晶平臺接觸進行熱交換，達到直接對長晶平臺進行冷卻的目的，同時又圓桶外周面通過通過空氣與長晶平臺以及圓環間距接觸，更有利于長晶平臺以及圓環的熱量散發；尤其本申請采用圓桶，并且圓桶與長晶平臺、圓環同心，這樣，由內至外，整體長晶平臺、圓環溫度均勻，滿足長晶溫度需求；在設計圓桶作為冷卻裝置時，一般會在圓桶內設置若干擋水板，形成水道，來增加冷卻水與圓桶的接觸面積，以便到達最佳的冷卻效果，但在本申請中，水道內部結構過于復雜焊接難度大焊接易變形廢品率高，水道擋板過多進水速度慢、出水速度慢影響降溫效果；為此，本申請省去了圓桶內部結構設計，將進水管伸入圓桶底部，出水管伸入圓桶頂部，這樣，冷卻水由圓桶下部注入，再由圓桶上部流出，圓桶內水滿，最大限度的提高冷卻水與圓桶的接觸面接，保證圓桶冷卻效果，且冷卻水流穩定；易與加工，節約成本，進出水阻礙減少速度提升，降溫效果加強。

在所述進水管與出水管外側設置有支撐罩，支撐罩固定在長晶腔底部，上端固定連接有第一安裝塊，所述第一安裝塊上固定連接第二安裝塊，第一安裝塊、第二安裝塊均為圓形，且同心，所述第一安裝塊、第二安裝塊上均設置有圓孔，圓孔分別與第一安裝塊、第二安裝塊同心，共同構成供進水管、出水管通過的通道，所述圓桶下端置于第二安裝塊上的圓孔內，并與第二安裝塊螺紋連接。

所述長晶腔內還設置有散熱罩，散熱罩為圓筒狀，其套在圓桶、第一安裝塊、第二安裝塊以及支撐罩外側，與第一安裝塊螺紋連接，所述圓環的下表面上設置有環槽，環槽與圓環同心，所述散熱罩的上端伸入環槽內，與之嵌合并支撐圓環；所述散熱罩與第二安裝塊之間留有間隙；所述散熱罩上均勻分布設置有若干散熱孔；散熱罩的設計有益于熱量的散熱，同時其在本申請中還起到與之嵌合并支撐圓環的作用；優選，在所述第一安裝塊與第二安裝塊之間設置有環形墊片。

散熱孔分成上下兩排；所述散熱罩外側套有夾套，夾套與散熱罩固定連接，并罩在上排散熱孔上，所述夾套上下兩端面上均勻分布設置有若干圓孔；優選，所述夾套與散熱罩焊接成一體。

所述散熱罩外側還套有環板，環板位于散熱孔上方，上端與散熱罩固定連接，下端開；優選，所述環板與散熱罩焊接成一體。