[實用新型]一種壓電微泵的錯層支承結構及氣體控制裝置

有效

• 申請號: 202022082110.0
• 申請日: 2020-09-21
• 公開（公告）號: CN212337587U
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 常州威圖流體科技有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B53/00
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 常瑩瑩

1.一種壓電微泵的錯層支承結構，其特征在于，包括：

壓電微泵，所述壓電微泵包括共振板(1)、壓電振子(2)和電極組件(3)，所述共振板(1)和壓電振子(2)依次層疊設置，所述壓電振子(2)的遠離所述共振板(1)的一側連接有電極組件(3)；

支承板(4)，所述共振板(1)的遠離壓電振子(2)的一側被所述支承板(4)支承，所述共振板(1)與所述支承板(4)之間存有間隙以形成進氣腔(6)，所述支承板(4)對所述壓電微泵進行支承和約束。

2.根據權利要求1所述的一種壓電微泵的錯層支承結構，其特征在于，所述共振板(1)通過連接部(5)與壓電振子(2)連接，所述連接部(5)為彈性連接部，所述連接部(5)與所述壓電振子(2)的任意位置連接；或者，所述連接部(5)為剛性連接部，所述連接部(5)與所述壓電振子(2)的波節或波節附近無振動或振動很小的位置連接。

3.根據權利要求2所述的一種壓電微泵的錯層支承結構，其特征在于，所述共振板(1)的遠離所述壓電振子(2)的面上形成有凸起(11)，所述連接部(5)和/或所述壓電振子(2)上形成有出氣通道，所述共振板(1)上設置有進氣孔(13)，所述進氣孔(13)與所述凸起(11)內周的凹陷部(12)連通。

4.根據權利要求3所述的一種壓電微泵的錯層支承結構，其特征在于，所述出氣通道包括設置在所述連接部(5)上的第一出氣孔(512)和/或設置在所述連接部(5)與所述壓電振子(2)連接的連接面上的出氣槽(212)和/或所述連接面附近的第二出氣孔(213)。

5.根據權利要求3所述的一種壓電微泵的錯層支承結構，其特征在于，所述壓電振子(2)包括層疊設置的振動板(21)和壓電元件(22)，所述振動板(21)靠近所述共振板(1)設置，所述振動板(21)的靠近所述共振板(1)的面上圍繞所述進氣孔(13)設置有凹槽(211)。

6.根據權利要求3-5任一項所述的一種壓電微泵的錯層支承結構，其特征在于，所述支承板(4)與所述凸起(11)連接以支承所述壓電微泵，所述支承板(4)、共振板(1)和凸起(11)共同圍設形成進氣腔(6)，所述支承板(4)上開有與所述進氣腔(6)連通的第一進氣通孔(41)。

7.根據權利要求3-5任一項所述的一種壓電微泵的錯層支承結構，其特征在于，所述凸起(11)通過連接板(9)被所述支承板(4)支承，所述連接板(9)與所述支承板(4)連接，所述連接板(9)與所述支承板(4)之間存有間隙以形成進氣過渡腔(42)，所述凸起(11)與所述連接板(9)連接，所述連接板(9)、共振板(1)和凸起(11)共同圍設形成進氣腔(6)。

8.根據權利要求7所述的一種壓電微泵的錯層支承結構，其特征在于，所述支承板(4)上開有與所述進氣過渡腔(42)連通的第一進氣通孔(41)，所述連接板(9)上開有連通所述進氣過渡腔(42)和所述進氣腔(6)的第二進氣通孔(91)。

9.一種氣體控制裝置，其特征在于，包括：

權利要求1-8任一項所述的一種壓電微泵的錯層支承結構；

殼體(7)，所述殼體(7)配合所述支承板(4)罩設在所述壓電微泵的外部，并與所述支承板(4)密封連接以形成出氣腔(8)，所述殼體(7)上設置有第一出氣通孔(711)。

10.根據權利要求9所述的一種氣體控制裝置，其特征在于，所述壓電微泵的遠離所述共振板(1)的一側被所述殼體(7)支承。

11.根據權利要求10所述的一種氣體控制裝置，其特征在于，所述電極組件(3)被所述殼體(7)支承。