[實用新型]一種高效的半導體生產用切割裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022035701.2
• 申請日: 2020-09-17
• 公開（公告）號: CN214447515U
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設計）人: 陳新科
• 申請（專利權）人: 江蘇愛矽半導體科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/02;B28D7/00;H01L21/67;H05F3/00
• 代理公司: 北京艾皮專利代理有限公司 11777
• 代理人: 馮鐵惠

1.一種高效的半導體生產用切割裝置，包括機體(1)，其特征在于：所述機體(1)內側固定連接于工作臺(2)，所述工作臺(2)頂端中間固定連接于切割臺(3)，所述切割臺(3)一相對外側通過工作臺(2)固定連接有導軌(4)，所述導軌(4)外側滑動連接有滑塊(5)，所述滑塊(5)頂端固定連接有電暈電極(6)，所述機體(1)兩側內部均勻設置有集塵電極(7)，所述機體(1)一相對外側固定連接有出風口(8)，所述出風口(8)另一端固定連接有輸風管(9)，所述輸風管(9)另一端固定連接有負壓風機(10)，所述機體(1)內部頂端固定連接有離子風機(11)，所述機體(1)內部垂直于電暈電極(6)一側固定連接有離子風嘴(12)。

2.根據權利要求1所述的一種高效的半導體生產用切割裝置，其特征在于：所述機體(1)下端內側固定連接有直角板(14)，所述直角板(14)頂端固定連接于工作臺(2)底端，所述直角板(14)下端滑動連接有抽屜(15)，所述抽屜(15)外側固定連接有第一把手(16)。

3.根據權利要求1所述的一種高效的半導體生產用切割裝置，其特征在于：所述工作臺(2)頂端邊沿滑動連接有門板(17)，所述門板(17)中間固定連接有玻璃(18)，所述門板(17)外側固定連接有第二把手(19)。

4.根據權利要求1所述的一種高效的半導體生產用切割裝置，其特征在于：所述出風口(8)和輸風管(9)通過固定環(huán)(20)固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種高效的半導體生產用切割裝置，其特征在于：所述工作臺(2)底端靠近機體(1)內側固定連接有漏斗(13)。

6.根據權利要求1所述的一種高效的半導體生產用切割裝置，其特征在于：所述電暈電極(6)和集塵電極(7)通過導線與電流放大器電性連接。