[實用新型]一種壓電傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022025346.0 | 申請日： | 2020-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN213748845U | 公開（公告）日： | 2021-07-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 曹江浪;方鵬;李光林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院深圳先進技術研究院 |
| 主分類號： | G01L1/16 | 分類號： | G01L1/16;H01L41/047;H01L41/29 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 黎堅怡 |
| 地址： | 518055 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓電 傳感器 | ||
1.一種壓電傳感器，其特征在于，包括：
壓電駐極體；
信號陣列單元，設置于所述壓電駐極體的一側(cè)表面上；
絕緣層，所述絕緣層設置于所述壓電駐極體表面未被所述信號陣列單元覆蓋的區(qū)域；
信號導線，所述信號導線設置于所述絕緣層上，所述信號導線與所述信號陣列單元連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述信號陣列單元為多個金屬電極。
3.根據(jù)權利要求2所述的壓電傳感器，其特征在于，所述金屬電極相互間隔且呈規(guī)則式排布。
4.根據(jù)權利要求2所述的壓電傳感器，其特征在于，同一行或同一列所述金屬電極的所述信號導線設置于該行或該列所述金屬電極的同一側(cè)。
5.根據(jù)權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述信號導線與所述絕緣層的厚度之和不大于所述信號陣列單元的厚度。
6.根據(jù)權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述壓電駐極體為具有微孔結(jié)構的聚合物薄膜。
7.根據(jù)權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述壓電傳感器還包括：地線層與地線導線，所述地線層與所述地線導線設置于所述壓電駐極體遠離所述信號陣列單元的一側(cè)表面上。
8.根據(jù)權利要求7所述的壓電傳感器，其特征在于，所述地線層的位置與所述信號陣列單元的位置相對應。
9.根據(jù)權利要求8所述的壓電傳感器，其特征在于，所述地線層的面積不小于所述信號陣列單元的總面積。
10.根據(jù)權利要求1所述的壓電傳感器，其特征在于，所述壓電傳感器的厚度為10μm～1000μm。
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