[實用新型]氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022013747.4
• 申請日: 2020-09-15
• 公開（公告）號: CN213013089U
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉軍;沈文建
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江泰恒新能源有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513;C23C16/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐，包括底柜和管體，所述底柜中部安裝有操作臺，且底柜內(nèi)部安裝有抽氣泵，所述底柜頂部安裝有加熱爐，且加熱爐表面固定有連接塊，且連接塊另一端連接有卡塊，所述卡塊另一端連接有爐蓋，且爐蓋表面嵌入有觀測玻璃，所述底柜內(nèi)部安裝有抽氣泵，所述加熱爐表面開設(shè)有通孔，且通孔下方設(shè)置有夾持塊，所述夾持塊內(nèi)部連接有復(fù)位彈簧。該氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐通過夾持塊、復(fù)位彈簧與限位臂之間的相互配合設(shè)置，使其將管體放置于夾持塊內(nèi)部時，管體壓動復(fù)位彈簧與限位臂向下移動，使其彎曲狀限位臂的另一端向下將管體夾持固定，且通過軟膠塊與限位臂之間的相互配合設(shè)置，使其提升了夾持的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及氮氧化硅加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐。

背景技術(shù)

電池片在生產(chǎn)過程中，需要在硅片的表面鍍上一層減反射膜，采用等離子體增強化學(xué)氣相沉積方法，使氣體在硅電池片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并形成覆蓋層，即減反射膜，此減反射膜的主要作用是：降低反射率、良好的體鈍化和表面鈍化，以及利用氮化硅薄膜的強致密性和耐多數(shù)酸堿性，在硅片表面形成保護層。電池片的PECVD工序一般通過PECVD機完成，PECVD機在石英管的兩端通微波源，表面抽真空的條件下將氨氣和硅烷分解成高能離子狀態(tài)，經(jīng)過一系列化學(xué)反應(yīng)轉(zhuǎn)變成氮化硅氣體，在硅片表面沉積氮化硅固態(tài)薄膜，同時分解出來的氫離子，將硅片表面原有缺陷鈍化。

現(xiàn)有的氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐對于內(nèi)部管體的固定過于麻煩，且拆卸過程與固定的過程費時費力，以至于導(dǎo)致爐體工作效率的低下，針對上述情況，我們推出了氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐，以解決上述背景技術(shù)中提出一般的氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐對于內(nèi)部管體的固定過于麻煩，且拆卸過程與固定的過程費時費力，以至于導(dǎo)致爐體工作效率的低下的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐，包括底柜和管體，所述底柜中部安裝有操作臺，且底柜內(nèi)部安裝有抽氣泵，所述底柜頂部安裝有加熱爐，且加熱爐表面固定有連接塊，所述連接塊另一端連接有卡塊，所述卡塊另一端連接有爐蓋，且爐蓋表面嵌入有觀測玻璃，所述底柜內(nèi)部安裝有抽氣泵，所述加熱爐表面開設(shè)有通孔，且通孔下方設(shè)置有夾持塊，所述夾持塊內(nèi)部連接有復(fù)位彈簧，且復(fù)位彈簧另一端連接有限位臂，所述限位臂表面連接有軟膠塊，所述管體連接于加熱爐內(nèi)部，且管體端連接有氣壓計，所述管體另一端連接有導(dǎo)管，且導(dǎo)管底部連接有彈簧管，所述管體內(nèi)部設(shè)置有石英層，且石英層外部連接有保溫層。

優(yōu)選的，所述爐蓋通過連接塊、卡塊與加熱爐之間構(gòu)成固定結(jié)構(gòu)，且加熱爐呈矩形狀。

優(yōu)選的，所述夾持塊關(guān)于加熱爐的豎直中心線呈左右對稱分布，且夾持塊與加熱爐之間呈固定連接。

優(yōu)選的，所述限位臂通過復(fù)位彈簧與夾持塊之間構(gòu)成彈性結(jié)構(gòu)，且限位臂呈彎曲狀。

優(yōu)選的，所述管體貫穿于加熱爐兩端，且管體的外口尺寸與通孔的內(nèi)口尺寸相吻合。

優(yōu)選的，所述管體通過保溫層與石英層之間構(gòu)成全包圍結(jié)構(gòu)，且保溫層與石英層之間相互貼合。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐通過夾持塊、復(fù)位彈簧與限位臂之間的相互配合設(shè)置，使其將管體放置于夾持塊內(nèi)部時，管體壓動復(fù)位彈簧與限位臂向下移動，使其彎曲狀限位臂的另一端向下將管體夾持固定，且通過軟膠塊與限位臂之間的相互配合設(shè)置，使其提升了夾持的穩(wěn)定性。

該氮氧化硅背鈍化用管式PECVD爐通過管體內(nèi)部石英層與保溫層之間的相互配合設(shè)置，使其在加熱爐將內(nèi)部加熱時，保持內(nèi)部的溫度，減少熱量的流失，從而達到減少資源的情況，通過彈簧管的設(shè)置，使其彈簧管體保持柔韌性可彎曲，從而在抽氣時保持良好的穩(wěn)定性，進一步延長了該裝置的使用壽命。