[實用新型]一種固體源容器及升華氣體供應系統

有效

• 申請號: 202022006543.8
• 申請日: 2020-09-15
• 公開（公告）號: CN213772205U
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 張東生;李江濤;吳恒;董會娜;姚棟嘉;劉喜宗;張相國;王琰
• 申請（專利權）人: 鞏義市泛銳熠輝復合材料有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/448
• 代理公司: 鄭州豫開專利代理事務所(普通合伙) 41131
• 代理人: 張智偉

1.一種固體源容器，其特征在于：包括固體源容器本體，固體源容器本體底端封閉、頂部敞口，固體源容器本體內腔在其底壁上設置有兩個相交的隔板將整個固體源容器本體內腔分為四個區域，其中兩個相對的區域為氣體通道區域，另兩個相對的區域為固體源放置區域；所述隔板的高度低于固體源容器的高度；以兩個隔板的相交線為中心軸線設置有載氣管道口；氣體通道區域的固體源容器本體底壁上均勻開設有第一氣孔。

2.如權利要求1所述的固體源容器，其特征在于：在固體源容器本體底部設有與氣體通道區域相適配的緩沖板；所述緩沖板包括一個扇形底板，扇形底板上在與載氣管道口正對的扇底位置以及與扇底相鄰的兩側位置各設置一側板；扇形底板上均勻開設有格柵或第二氣孔。

3.如權利要求1所述的固體源容器，其特征在于：兩個隔板的相交線與固體源容器本體的中心軸線在同一條直線上。

4.如權利要求1所述的固體源容器，其特征在于：固體源容器本體呈圓柱狀。

5.一種升華氣體供應系統，包含如權利要求1-4之任一項所述的固體源容器，其特征在于：所述升華氣體供應系統還包括主升華容器，主升華容器、固體源容器兩者的形狀相同，固體源容器的數量為多個；

主升華容器包括主升華容器本體以及與其可拆卸式固定連接的主升華容器頂蓋，主升華容器頂蓋上設有載氣管道進口、出氣口，主升華容器本體內腔底壁放置有支撐環，支撐環上由下至上疊放多個固體源容器，上下相鄰的兩個固體源容器的氣體通道區域和固體源放置區域交錯布置；固體源容器的外壁緊貼主升華容器本體內壁但固體源容器可上下自由取出或裝入主升華容器本體；支撐環的外緣尺寸≤固體源容器的外緣尺寸以保證支撐環支撐住最下方的固體源容器的同時該固體源容器的底面騰空而不接觸主升華容器本體的底壁；

載氣管道進口連接有載氣管道，載氣管道一端連接載氣瓶、另一端伸入主升華容器本體內貫穿固體源容器的載氣管道口直至主升華容器本體的底端，主升華容器的出氣口通過管道連接至下一道工序的化學氣相沉積室；連接主升華容器出氣口的管道上設有一脈沖控制的單向閥門；

主升華容器設置有加熱單元，加熱單元至少包括加熱器。

6.如權利要求5所述的升華氣體供應系統，其特征在于：所述升華氣體供應系統還包括輔助升華容器，主升華容器、輔助升華容器、固體源容器三者的形狀相同；

輔助升華容器包括輔助升華容器本體以及與其可拆卸式固定連接的輔助升華容器頂蓋，輔助升華容器頂蓋上設有進氣口、出氣口；

主升華容器的出氣口通過管道連接至輔助升華容器的進氣口并伸入輔助升華容器本體內部直至輔助升華容器本體的底端，輔助升華容器的出氣口通過管道連接至下一道工序的化學氣相沉積室；連接主升華容器出氣口的管道、連接輔助升華容器出氣口的管道上各自設一脈沖控制的單向閥門；

主升華容器和輔助升華容器各自設置有加熱單元，加熱單元至少包括加熱器。

7.如權利要求5或6所述的升華氣體供應系統，其特征在于：加熱單元還包括溫度調節器、溫度傳感器；主升華容器和輔助升華容器各自設置在對應的加熱器內，溫度傳感器對應設置在主升華容器和輔助升華容器的側壁上，溫度調節器對應設置在主升華容器和輔助升華容器的外周空閑位置處。

8.如權利要求6所述的升華氣體供應系統，其特征在于：輔助升華容器內腔也設有支撐環和多個固體源容器，支撐環、多個固體源容器與輔助升華容器之間的構造關系同主升華容器。

9.如權利要求6所述的升華氣體供應系統，其特征在于：輔助升華容器連同與其對應的加熱器下方設置有稱重裝置。

10.如權利要求9所述的升華氣體供應系統，其特征在于：稱重裝置兩端各設一支架，連接輔助升華容器的進氣口和出氣口的管道分別固定在對應側的支架上。