[實用新型]一種勻膠顯影均溫加熱裝置有效
| 申請號： | 202021987117.0 | 申請日： | 2020-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN213814288U | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 劉晟麟 | 申請（專利權）人： | 劉晟麟 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/38;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 湯東鳳 |
| 地址： | 065000 河北省廊坊*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 顯影 加熱 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種勻膠顯影均溫加熱裝置，包括加熱盤體(1)，其特征在于：所述加熱盤體(1)包括上蓋(11)與下蓋(12)，所述上蓋(11)表面為晶圓加熱面，所述上蓋(11)與下蓋(12)扣合到一起，接合縫處密封后成為一個密封腔體式的托盤，所述托盤腔體腔內充滿導熱液體，所述上蓋(11)上表面潛表固定溫度傳感器(2)，所述下蓋(12)印刷加熱電路(3)，所述溫度傳感器(2)及加熱電路(3)接入控制器。
2.根據權利要求1所述的一種勻膠顯影均溫加熱裝置，其特征在于：所述上蓋(11)與下蓋(12)材料包括銅、鋁、不銹鋼。
3.根據權利要求1所述的一種勻膠顯影均溫加熱裝置，其特征在于：所述導熱液體可以選擇：導熱油、純水、有機溶劑。
4.根據權利要求3所述的一種勻膠顯影均溫加熱裝置，其特征在于：所述導熱液體為合成芳烴導熱油，比熱約為0.6J/Kg·K，與鋁相近，即與鋁升溫速度相近。
5.根據權利要求1所述的一種勻膠顯影均溫加熱裝置，其特征在于：所述托盤腔體側面圓周壁，加熱電路(3)與下蓋(12)間均涂附隔熱絕緣層(4)。
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