[實用新型]一種芯片加工切面拋光設備

有效

• 申請號: 202021986525.4
• 申請日: 2020-09-11
• 公開（公告）號: CN213731040U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 程進
• 申請（專利權）人: 蘇州芯海半導體科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/02;B24B41/06
• 代理公司: 成都明濤智創專利代理有限公司 51289
• 代理人: 杜夢

本實用新型公開了一種芯片加工切面拋光設備，包括底板以及固定設置于底板一側的三角形延伸板，所述底板底端的四角均固定焊接有支撐腿，且支撐腿遠離底板的一端粘接設置有防滑墊，所述底板的頂端遠離三角形延伸板的一側開設有放置槽，且底板的頂端遠離放置槽的一側對稱開設有多組供T型滑塊滑動設置的T型滑槽，所述放置槽內活動設置有定位板，且定位板的一側固定設置有抵接底板的活動板，多組所述T型滑塊的頂端固定焊接有底座，且底座頂端的兩側均居中開設有定位槽。該芯片加工切面拋光設備，可收納待加工的晶圓，便于工作人員取用，提升了工作效率，還方便了工作人員取下并更換晶圓，省時省力，提高了生產效率。

技術領域

本實用新型屬于芯片加工設備技術領域，具體涉及一種芯片加工切面拋光設備。

背景技術

眾所周知，芯片加工過程中需要對柱狀的晶圓切段，然后對晶圓的切面進行拋光，芯片加工用切面拋光裝置的是一種用于晶圓加工過程中對晶圓的切面進行拋光的輔助裝置，其在半導體加工的領域中得到了廣泛的使用。

現有的芯片加工切面拋光設備在使用時還存在著一些問題：1、將拋光完成的晶圓取下時，需要關閉設備，才可取下晶圓并更換，費時費力，降低了生產效率；2、無法對待拋光的晶圓進行收納，還需通過其他設備收納，不便于工作人員取用，給工作人員帶來了極大的不便，導致工作效率低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種芯片加工切面拋光設備，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種芯片加工切面拋光設備，包括底板以及固定設置于底板一側的三角形延伸板；

所述底板底端的四角均固定焊接有支撐腿，且支撐腿遠離底板的一端粘接設置有防滑墊，所述底板的頂端遠離三角形延伸板的一側開設有放置槽，且底板的頂端遠離放置槽的一側對稱開設有多組供T型滑塊滑動設置的T型滑槽；

所述放置槽內活動設置有定位板，且定位板遠離底板的一側固定設置有抵接底板的活動板；

多組所述T型滑塊的頂端固定焊接有底座，且底座頂端的兩側均居中開設有定位槽。

優選的，所述三角形延伸板的頂端遠離放置槽的一側居中設置有承重柱，且承重柱的頂端固定焊接有支撐柱，所述支撐柱的頂端遠離承重柱的一側居中設置有電動伸縮桿，且電動伸縮桿的活塞桿穿過支撐柱固定連接有安裝板。

優選的，所述安裝板遠離電動伸縮桿一側的中心固定設置有旋轉電機，且旋轉電機的電機軸固定連接有圓板，所述圓板朝向拋光輪的一側呈環形陣列開設有多組供螺栓活動設置的圓孔，且多組螺栓穿過圓板的一端螺紋連接有拋光輪。

優選的，所述活動板一側的兩端均居中開設有供直線軸承固定設置的圓槽，且多組直線軸承內活動設置有導向桿，所述導向桿的兩端均固定連接有擋板，且多組擋板遠離導向桿的一端固定連接有C型側板，多組所述C型側板中遠離三角形延伸板的一組C型側板的一側等距開設有多組供插銷插入的插孔，且插銷穿過插孔的一端插入活動板內。

優選的，所述底座的底端居中設置有U型滑塊，且底板的頂端配合U型滑塊開設有供U型滑塊設置的活動槽，所述U型滑塊的一側開設有供絲杠嚙合的螺紋孔，且絲杠延伸出活動槽的兩端均固定連接有旋鈕。

本實用新型的技術效果和優點：該芯片加工切面拋光設備，得益于底座和兩組旋鈕的設置，通過轉動旋鈕可移動底座，便于工作人員取下并更換晶圓，省時省力，提高了生產效率；得益于放置槽和定位板的設置，通過將待加工的晶圓放置于放置槽內，再通過定位板抵接晶圓，配合插銷對其進行固定，便于工作人員取用，提升了工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型圖1中A處結構的放大示意圖；

圖3為本實用新型圖1中B處結構的放大示意圖；