[實用新型]一種多晶硅尾氣吸附裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202021983864.7 | 申請日： | 2020-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN212283453U | 公開（公告）日： | 2021-01-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 莫修乾;徐昆侖;王麗亭 | 申請（專利權）人： | 江蘇東方瑞吉能源裝備有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/04 | 分類號： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 南京創(chuàng)略知識產權代理事務所(普通合伙) 32358 | 代理人： | 朱希敏 |
| 地址： | 212100 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 尾氣 吸附 裝置 | ||
1.一種多晶硅尾氣吸附裝置，包括容器本體（1），其特征在于：所述容器本體（1）的底部中心安裝連接有進氣管（2），所述容器本體（1）的頂部中心安裝有出氣管（3），所述容器本體（1）的內腔安裝有支撐結構（4），所述支撐結構（4）包括斜向支撐板（402）和豎向支撐板（401），所述容器本體（1）的下端安裝有指形管結構（5）。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅尾氣吸附裝置，其特征在于：所述斜向支撐板（402）和豎向支撐板（401）交錯形成菱形網格狀支撐結構，且指形管結構（5）位于菱形網格狀支撐結構的內部。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅尾氣吸附裝置，其特征在于：所述指形管結構（5）包括主管（501）、分管（502）、支管（503）和指形管（504），所述分管（502）、支管（503）和指形管（504）均設置有多個，所述主管（501）的頂部與分管（502）相連通，所述分管（502）與支管（503）相連通，所述支管（503）與指形管（504）相連通。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種多晶硅尾氣吸附裝置，其特征在于：所述指形管（504）為雙層結構，所述指形管（504）包括內管（5041）和外管（5042），所述內管和外管之間設置有固定塊（5043）。
5.根據(jù)權利要求3所述的一種多晶硅尾氣吸附裝置，其特征在于：所述指形管（504）頭部為錐形結構。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅尾氣吸附裝置，其特征在于：所述進氣管（2）的進氣口與出氣管（3）的出氣口都包裹有絲網。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種多晶硅尾氣吸附裝置，其特征在于：所述指形管結構（5）的左側設置有進水管口（505），所述指形管結構（5）的頂部左側設置有出水管口（506）。
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