[實用新型]一種離線式光罩盒光罩固定機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021945920.8
• 申請日: 2020-09-08
• 公開（公告）號: CN213149469U
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發(fā)明（設計）人: 童明
• 申請（專利權）人: 上海賽瑾精密科技有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66
• 代理公司: 上海領洋專利代理事務所(普通合伙) 31292
• 代理人: 俞晨波

1.一種離線式光罩盒光罩固定機構，包括：光罩盒(1)和光罩(2)，其特征在于：所述光罩盒(1)分為上罩(10)和下罩(11)，所述光罩(2)設置在上罩(10)和下罩(11)之間，所述上罩(10)的內(nèi)壁上安裝有上固定機構(4)，所述下罩(11)的內(nèi)壁上安裝有下固定機構(5)；

所述上固定機構(4)和下固定機構(5)的結(jié)構相同且分別設置有4個，所述上固定機構(4)包括固定板(6)、彎曲段(7)、托鉤(8)和螺母柱(9)，所述上固定機構(4)通過螺母柱(9)并采用螺栓與上罩(10)固定連接，所述下固定機構(5)通過螺母柱(9)并采用螺栓與下罩(11)固定連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種離線式光罩盒光罩固定機構，其特征在于：所述彎曲段(7)與固定板(6)一體成型且彎折形成倒鉤形結(jié)構，所述托鉤(8)與彎曲段(7)的端部連接且與彎曲段(7)呈反向彎折。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種離線式光罩盒光罩固定機構，其特征在于：所述托鉤(8)的一端與彎曲段(7)連接、另一端的端面呈圓弧狀且與光罩(2)貼合連接，所述彎曲段(7)與托鉤(8)的連接處設置有支撐凸塊(12)，所述支撐凸塊(12)的端部與光罩(2)外壁連接。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種離線式光罩盒光罩固定機構，其特征在于：所述上罩(10)和下罩(11)后端采用鉸鏈轉(zhuǎn)動連接，所述上罩(10)和下罩(11)的前端設置有鎖扣(3)且采用鎖扣(3)連接。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種離線式光罩盒光罩固定機構，其特征在于：靠近鎖扣(3)的兩個所述下固定機構(5)橫向設置，遠離鎖扣(3)的兩個所述下固定機構(5)縱向設置。