[實用新型]一種用于承載掩膜板的載板

有效

• 申請號: 202021937649.3
• 申請日: 2020-09-08
• 公開（公告）號: CN213172536U
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 張敏;劉飛;盧剛;馬昀鋒;杜娟
• 申請（專利權）人: 黃河水電光伏產業技術有限公司;青海黃河上游水電開發有限責任公司光伏產業技術分公司;國家電投集團黃河上游水電開發有限責任公司;青海黃河上游水電開發有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;賈珍珠

1.一種用于承載掩膜板的載板，其特征在于，包括板體，所述板體正面凹設有若干排容置腔組，每一排容置腔組均包括多個間隔設置的用于承載掩膜板的容置腔，每一所述容置腔均包括一凹槽及設于所述凹槽內并沿所述凹槽四周設置的棱臺，所述棱臺上表面不高出所述板體正面，所述棱臺上凸設有用于與所述掩膜板上的連接孔配合的連接柱。

2.根據權利要求1所述的用于承載掩膜板的載板，其特征在于，所述板體上同一排中兩相鄰的所述容置腔之間橫設有條形的安裝孔，所述安裝孔沿所述板體厚度方向上的投影同時覆蓋兩相鄰的所述凹槽之間的間距及與所述間距相鄰的兩所述棱臺，所述安裝孔的深度大于所述棱臺上表面距所述板體正面的高度。

3.根據權利要求2所述的用于承載掩膜板的載板，其特征在于，同一排中兩相鄰的所述容置腔之間設有多個所述安裝孔，多個所述安裝孔豎向間隔設置。

4.根據權利要求2或3所述的用于承載掩膜板的載板，其特征在于，所述安裝孔為盲孔，還包括嵌于所述盲孔內的彈性塊，所述彈性塊可在外力作用下伸出所述安裝孔，伸出所述安裝孔的所述彈性塊的上表面高于所述板體正面。

5.根據權利要求1所述的用于承載掩膜板的載板，其特征在于，所述凹槽的底部設有多個定位孔，多個所述定位孔分布于所述凹槽底部四周。

6.根據權利要求1所述的用于承載掩膜板的載板，其特征在于，所述板體采用石英材料制作而成。