[實(shí)用新型]一種便于固定和全方位打磨的ITO靶材裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021932337.3
• 申請(qǐng)日: 2020-09-07
• 公開（公告）號(hào): CN213004399U
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葛春橋;崔恒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中山智隆新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B19/00
• 分類號(hào): B24B19/00;B24B41/06;B24B41/02;B24B55/06;B24B47/22;B24B55/12
• 代理公司: 深圳市海盛達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44540
• 代理人: 趙雪佳

本實(shí)用新型屬于機(jī)械設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其為一種便于固定和全方位打磨的ITO靶材裝置，包括結(jié)構(gòu)架、底柱和L型支柱梁，所述結(jié)構(gòu)架的上端設(shè)置有廢料箱，且結(jié)構(gòu)架的外壁安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸的上端設(shè)置有移動(dòng)臺(tái)，且移動(dòng)臺(tái)的上方設(shè)置有彈簧，并且彈簧的一端連接有夾持塊，所述底柱設(shè)置于結(jié)構(gòu)架的左側(cè)，且底柱的上方設(shè)置升降裝置。該便于固定和全方位打磨的ITO靶材裝置設(shè)置有廢料箱和轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸，通過廢料箱與結(jié)構(gòu)架之間的滑動(dòng)連接，讓廢料箱在收集一定量的靶材粉末之后，便于取出清理，同時(shí)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)較為簡單，不會(huì)被掉落的粉末卡塞，結(jié)構(gòu)架與移動(dòng)臺(tái)通過轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸構(gòu)成的活動(dòng)結(jié)構(gòu)，讓靶材在移動(dòng)臺(tái)上可以做橫向運(yùn)動(dòng)，便于打磨。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及ITO靶材裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種便于固定和全方位打磨的ITO靶材裝置。

背景技術(shù)

隨著機(jī)械設(shè)備制造的發(fā)展，越來越多的材質(zhì)需要專門設(shè)計(jì)的機(jī)械裝置進(jìn)行加工，其中ITO靶材作為一種屏幕顯像必要材料，越來越受市場的親睞，除此之外，ITO靶材在薄膜太陽能電池；功能性玻璃，和玻璃型磁盤三大領(lǐng)域都有著不可替代的作用，未來對(duì)ITO靶材的研究方向在降低成本、提高使用率的基礎(chǔ)上做努力。

現(xiàn)在傳統(tǒng)的ITO靶材裝置中，存在無法精確的多方位打磨，同時(shí)固定較為不便，以及對(duì)于打磨之后的粉末沒有做到有效回收的問題，為此我們需要一種便于固定和全方位打磨的ITO靶材裝置。

針對(duì)現(xiàn)有問題，急需在原有ITO靶材裝置的基礎(chǔ)上進(jìn)行創(chuàng)新。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種便于固定和全方位打磨的ITO靶材裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的無法多方位打磨且固定靶材不方便的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種便于固定和全方位打磨的ITO靶材裝置，包括結(jié)構(gòu)架、底柱和L型支柱梁，所述結(jié)構(gòu)架的上端設(shè)置有廢料箱，且結(jié)構(gòu)架的外壁安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸的上端設(shè)置有移動(dòng)臺(tái)，且移動(dòng)臺(tái)的上方設(shè)置有彈簧，并且彈簧的一端連接有夾持塊，所述底柱設(shè)置于結(jié)構(gòu)架的左側(cè)，且底柱的上方設(shè)置升降裝置，所述升降裝置的外壁設(shè)置有旋鈕，且旋鈕的右側(cè)安裝有固定按鈕，所述升降裝置的內(nèi)部設(shè)置有齒輪，且齒輪的左側(cè)設(shè)置有齒條，并且齒條的邊側(cè)安裝有支撐桿，所述升降裝置的上方安裝有升降桿，且升降桿的端部安裝有第一橫柱，并且第一橫柱的中間位置設(shè)置有把手，所述第一橫柱的外壁設(shè)置有連接片，且連接片的左端安裝有端帽，并且第一橫柱的內(nèi)部安裝有電機(jī)，所述L型支柱梁安裝于第一橫柱的上方，且L型支柱梁的端部安裝有第二橫柱。

優(yōu)選的，所述移動(dòng)臺(tái)與結(jié)構(gòu)架通過轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸構(gòu)成活動(dòng)結(jié)構(gòu)，且結(jié)構(gòu)架與廢料箱之間為滑動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述齒條與支撐桿之間為滑動(dòng)連接，且齒條通過齒輪與升降桿構(gòu)成升降結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述升降桿與升降裝置之間為螺紋連接，且升降桿的中軸線與第一橫柱的中軸線之間為相互垂直。

優(yōu)選的，所述電機(jī)嵌套在第一橫柱的內(nèi)部，且第一橫柱通過連接片與端帽構(gòu)成可拆卸結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述L型支柱梁與第二橫柱之間為螺紋連接，且第二橫柱的中軸線與第一橫柱的中軸線之間為互相平行。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

1、該便于固定和全方位打磨的ITO靶材裝置設(shè)置有廢料箱和轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸，通過廢料箱與結(jié)構(gòu)架之間的滑動(dòng)連接，讓廢料箱在收集一定量的靶材粉末之后，便于取出清理，同時(shí)滑動(dòng)結(jié)構(gòu)較為簡單，不會(huì)被掉落的粉末卡塞，結(jié)構(gòu)架與移動(dòng)臺(tái)通過轉(zhuǎn)動(dòng)齒軸構(gòu)成的活動(dòng)結(jié)構(gòu)，讓靶材在移動(dòng)臺(tái)上可以做橫向運(yùn)動(dòng)，便于打磨；