[實用新型]一種用于直拉法單晶硅生長裝置的導流筒

有效

• 申請號: 202021909851.5
• 申請日: 2020-09-03
• 公開（公告）號: CN212983095U
• 公開（公告）日: 2021-04-16
• 發明（設計）人: 凌繼貝;張忠華;張俊;吳雄
• 申請（專利權）人: 內蒙古豪安能源科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

本實用新型公開了一種用于直拉法單晶硅生長裝置的導流筒，包括不銹鋼層、上筒體、下筒體和連接機構，本實用新型通過設置了連接機構于上筒體外側，通過固定環進入到T型環內側底端進行固定，使得上筒體連接于外部的生產設備更加緊密，同時在硅膠環的作用下使得固定環和T型環的連接密封性更高，而拆卸過程可通過轉動轉桿帶動固定塊轉動脫離凸板底部，使得T型桿受到彈簧彈力向上移動，并且T型桿配合傳動架帶動卡塊向右移動脫離固定環底部的卡槽，從而完成對上筒體的拆卸，到達了提高導流筒的密封性和后期拆卸效率的有益效果。

技術領域

本實用新型具體是一種用于直拉法單晶硅生長裝置的導流筒，涉及導流筒相關領域。

背景技術

電子級及太陽能級半導體單晶硅硅主要采用直拉法制造，直拉法的原理是：在熔化后的硅熔液中插入具有一定晶向的單晶硅作為“籽晶”，通過Dash技術消除因熱應力而產生的位錯，通過石墨部件及保溫材料形成的溫度梯度，在結晶前沿形成一定過冷度，從而驅動硅原子按順序排列在液體和固體交界面(固液界面)上，從而形成單晶硅的晶錠，而單晶硅在生產的過程中需要使用到專門的生長裝置，同時生長裝置中為便于氬氣的流通，需要使用到相對應的導流筒。

當導流筒在使用的過程中，由于其通常以螺栓進行安裝，其安裝的密封性較差，容易使得氬氣流通過程向外泄露形成浪費，同時導流筒為了提高穩定性使得螺栓需要數量較多，造成后期拆卸較為不便。

實用新型內容

因此，為了解決上述不足，本實用新型在此提供一種用于直拉法單晶硅生長裝置的導流筒。

本實用新型是這樣實現的，構造一種用于直拉法單晶硅生長裝置的導流筒，該裝置包括不銹鋼層和上筒體，所述不銹鋼層設置于上筒體和下筒體內側端面上，所述連接機構設置于上筒體外側，所述連接機構包括固定環、硅膠環、定位柱、T型環、殼體、T型桿、固定機構、傳動架、卡塊和彈簧，所述固定環內圈緊固于上筒體外側頂端，且固定環頂端面粘貼有硅膠環，所述定位柱設置于硅膠環頂端面，所述殼體鎖固于T型環側表面，所述T型桿通過固定機構于殼體內側上下移動，且T型桿通過彈簧連接于殼體內側底端面，所述傳動架外側上下兩端分別鉸接于卡塊后端面和殼體內側前端底部，所述卡塊滑動安裝于殼體內側后端頂部。

優選的，所述下筒體設置于上筒體底部，且上筒體和下筒體內側端面相貫通。

優選的，所述固定機構包括轉桿、固定塊、銜接板、卷彈簧、限位架、凸板和凸體，所述轉桿穿過殼體頂端面中部后與T型桿頂端面中部轉動連接，所述固定塊對稱安裝有兩個于轉桿左右兩端中部，所述銜接板通過卷彈簧鉸接于殼體內側頂部，所述限位架鎖合于殼體內側頂端面，所述凸板設置于銜接板左端面底部，所述凸體設置于固定塊頂端面，且凸體相吻合于凸板底端面開設的凹槽內側。

優選的，所述定位柱分布有四個于硅膠環頂端面四端，且T型環內側頂端面四端開設有四個相配合的定位槽。

優選的，所述T型環側表面和殼體左端面開設有開口，且開口的位置大小相對應于卡塊。

優選的，所述卡塊外側左端呈由右至左漸縮的梯形狀，且卡塊頂端面左端和底端面呈30°夾角。

優選的，所述傳動架由兩個板體鉸接而成，且傳動架前端面底部開設有相配合于T型桿外側后端的橢圓形孔。

優選的，所述T型桿外側后端為圓柱體狀，且T型桿后端面相齊平于傳動架后端面。

本實用新型具有如下優點：本實用新型通過改進在此提供一種用于直拉法單晶硅生長裝置的導流筒，與同類型設備相比，具有如下改進：