[實用新型]一種芯片檢測設備

有效

• 申請號: 202021909611.5
• 申請日: 2020-09-03
• 公開（公告）號: CN212321471U
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 趙鑫;李英坤;姜豪;劉風雷
• 申請（專利權）人: 浙江水晶光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張洋

本實用新型提供一種芯片檢測設備，涉及光電技術領域，包括：支撐件、圖像采集器和承載裝置；在承載裝置上設置有用于承載待檢測芯片的檢測工位，支撐件一端設置于承載裝置上、另一端設置有圖像采集器；圖像采集器的采集端與檢測工位對應，用于對檢測工位的待檢測芯片進行圖像采集。使得芯片檢測設備能夠對芯片進行快速且全方面的表面缺陷檢測，利用圖像采集器以圖像信息進行檢測的方式有效的提高了整個檢測過程的效率，降低了檢測時間。

技術領域

本實用新型涉及光電檢測技術領域，具體而言，涉及一種芯片檢測設備。

背景技術

隨著工業技術的不斷發展，CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合元件)發展迅速，CCD品質成為主要關注的技術難點，CCD的表面缺陷已經成為影響品質的主要因素。

現有CCD的表面缺陷檢測通常采用顯微鏡觀察，即人工通過顯微鏡觀察CCD的表面，但人工看到的區域通常都較小，需要頻繁移動位置才能夠觀察完全，因此，使得檢測效率較低，難以滿足工業化批量生產的需求。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，針對上述現有技術中的不足，提供一種芯片檢測設備，以解決現有人工檢測效率較低的問題。

為實現上述目的，本實用新型實施例采用的技術方案如下：

本實用新型實施例的一方面，提供一種芯片檢測設備，包括：支撐件、圖像采集器和承載裝置；在承載裝置上設置有用于承載待檢測芯片的檢測工位，支撐件一端設置于承載裝置上、另一端設置有圖像采集器；圖像采集器的采集端與檢測工位對應，用于對檢測工位的待檢測芯片進行圖像采集。

可選的，支撐件包括活動連接的連接部和移動部，連接部與承載裝置連接，圖像采集器與移動部連接用于在移動部相對連接部運動時，帶動圖像采集器運動以使采集端與檢測工位對應。

可選的，連接部固定設置在承載裝置上；移動部包括第一支桿組件和第二支桿組件，第一支桿組件與連接部滑動連接且可相對連接部沿第一方向滑動，第二支桿組件與第一支桿組件滑動連接且可相對連接部沿第二方向滑動，第一方向與第二方向垂直，圖像采集器設置于第二支桿組件上。

可選的，第二支桿組件包括相互連接的第二支桿和滑動件；圖像采集器設置于第二支桿上，滑動件與第一支桿組件滑動連接，以帶動第二支桿相對連接部滑動沿第二方向；第二支桿與滑動件滑動連接且可相對連接部沿第三方向滑動，第三方向分別與第一方向和第二方向垂直。

可選的，承載裝置包括檢測平臺以及設置在檢測平臺上的備料機構和送料機構；送料機構包括設置在檢測平臺上的導軌和送料組件；導軌包括順次連接的準備工位、檢測工位以及送料工位；備料機構包括設置在檢測平臺上的儲料倉和備料組件；準備工位與儲料倉對應，備料組件用于將儲料倉的待檢測芯片運送至準備工位，送料組件用于將準備工位的待檢測芯片依次運送至檢測工位以及送料工位。

可選的，送料組件包括設置于檢測平臺上的送料滑軌和送料件；送料件包括送料驅動部和滑動設置于送料滑軌上的送料部，送料驅動部與送料部驅動連接，用于驅動送料部帶動待檢測芯片運動；備料組件包括設置于檢測平臺上的備料滑軌和備料件；備料件包括備料驅動部和滑動設置于備料滑軌上的備料部，備料驅動部與備料部驅動連接，用于驅動備料部帶動待檢測芯片運動。

可選的，芯片檢測設備還包括吸氣裝置，在檢測工位上還設置有吸附通孔，吸氣裝置與吸附通孔管路連接，用于吸附檢測工位上的待檢測芯片。

可選的，圖像采集器為工業相機；工業相機包括設置于支撐件上的相機本體以及安設于相機本體的拍照端的放大鏡頭。

可選的，圖像采集器還包括補光燈，補光燈呈環形設置于放大鏡頭的端部。

可選的，芯片檢測設備還包括處理器，處理器與圖像采集器電連接，用于根據待檢測芯片的圖像信息判斷待檢測芯片是否具有缺陷。