[實用新型]一種用于消除晶錠內(nèi)應(yīng)力的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202021885273.6 | 申請日： | 2020-09-01 |
| 公開（公告）號： | CN213835629U | 公開（公告）日： | 2021-07-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李帥;趙建國;李乃慶 | 申請（專利權(quán)）人： | 山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/00 | 分類號： | C30B33/00;C30B29/36;C30B30/06 |
| 代理公司： | 北京君慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 劉曉佳 |
| 地址： | 250118 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 消除 內(nèi)應(yīng)力 裝置 | ||
1.一種用于消除晶錠內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，包括：
振動臺，所述振動臺上設(shè)置有低頻振動區(qū)和超聲振動區(qū)，所述低頻振動區(qū)的振動頻率小于500Hz，所述超聲振動區(qū)的振動頻率大于20kHz，以使得所述晶錠能夠依次在所述低頻振動區(qū)和所述超聲振動區(qū)進(jìn)行振動處理；
所述低頻振動區(qū)包括第一振動墊塊；
所述超聲振動區(qū)包括具有超聲波發(fā)生器的超聲波水浴槽，所述超聲波水浴槽底部設(shè)有第二振動墊塊，所述第一振動墊塊和所述第二振動墊塊分別與振動發(fā)生器連接；
所述第一振動墊塊和所述第二振動墊塊的表面分別設(shè)有晶錠卡槽，所述晶錠卡槽的槽內(nèi)壁設(shè)有彈性墊；
還包括與所述振動發(fā)生器連接的控制主機(jī)，所述控制主機(jī)上設(shè)有用于顯示第一振動墊塊和/或第二振動墊塊的振動頻率的顯示屏。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于消除晶錠內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述振動發(fā)生器是激振器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于消除晶錠內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述裝置還包括風(fēng)干區(qū)，所述風(fēng)干區(qū)包括晶錠放置架和風(fēng)發(fā)生器，所述風(fēng)發(fā)生器的風(fēng)口朝向所述晶錠放置架。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于消除晶錠內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述裝置還包括固定組件，所述固定組件包括可升降的固定桿，所述固定桿在固定晶錠時與晶錠表面抵接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的用于消除晶錠內(nèi)應(yīng)力的裝置，其特征在于，所述晶錠是碳化硅晶錠。
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