[實用新型]一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構

有效

• 申請號: 202021874183.7
• 申請日: 2020-09-01
• 公開（公告）號: CN213113475U
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 詹保全
• 申請（專利權）人: 東莞創群石英晶體有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 東莞市展智知識產權代理事務所(普通合伙) 44308
• 代理人: 馮衛東;茅小燕

本實用新型涉及一種晶片濺射鍍膜補正板，尤其是晶片濺射鍍膜補正板的改良。本實用新型一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構包括補正板安裝板(1)，補正板(2)，其特征在于：補正板安裝板(1)一端呈梳齒狀(11)，補正板(2)由若干個方形金屬條(21)組成，梳齒狀(11)個數與補正板(2)的方形金屬條(21)個數相等，方形金屬條(21)尾端與插入所述梳齒狀(11)的齒槽，且與補正板安裝板(1)固定連接。補正板(2)需要修補時，可把補正板拆卸下來做打磨修補，或是發現無法再通過打磨來打到修補時，可通過拆卸更換方形金屬條(21)可達到修補補正板(2)，從而達到節約成本，提高使用率，節省工時等優點。

技術領域

本實用新型涉及一種晶片濺射鍍膜補正板，尤其是晶片濺射鍍膜補正板的改良。

背景技術

在工業制造中，渡膜技術應用越來越廣泛。渡膜的方式越來越多，渡膜技術也越來越發達。雖然如此但是每種渡膜方法也存在不同的缺陷。就比如濺射鍍膜作業中，因離子濺射至被鍍晶片上時，膜會鍍的厚薄不均，不同的位置鍍的膜厚離不一致，這是因為離子強度所有差別所致。所以遇到這種情況，一般的作法是把放塊補正板上去，透過補正板針對鍍膜時鍍厚之位置進行局部遮擋，以達到整片產品鍍膜厚離趨于一致。

但是如此一來，這塊補正板也會帶來一些缺陷。補正板是一塊金屬板，在一次次的鍍膜作業之后，這塊補正板就需要修補了。一般是用砂輪機打磨做修復，但是如此一來一是不方便，二是磨多了補正板就得重新做一塊，也存在著一不小心就磨壞了的可能。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術方案是提供一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構，從而解決頻繁的打磨補正板，打磨過程中損壞補正板等問題。

為了解決上述問題，本實用新型一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構包括補正板安裝板1，補正板2，其特征在于：所述補正板安裝板1一端呈梳齒狀11，所述補正板2由若干個方形金屬條21組成，所述梳齒狀11個數與所述補正板2的方形金屬條21個數相等，所述方形金屬條21尾端與插入所述梳齒狀11的齒槽，且與所述補正板安裝板1固定連接。

所述的一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構，其特征在于：所述方形金屬條21尾端有一方形孔22，通過方形孔22與所述補正板安裝板1固定連接，且可通過方形孔22來調整方形金屬條21固定位置。

通過上述結構，補正板2需要修補時，可把補正板拆卸下來做打磨修補，或是發現無法再通過打磨來打到修補時，可通過拆卸更換方形金屬條21可達到修補補正板2，從而達到節約成本，提高使用率，節省工時等優點。

附圖說明

圖1：本實用新型一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構進一步詳細的說明。

如圖1所示，本實用新型本實用新型一種晶片濺射鍍膜補正板的改良結構包括補正板安裝板1，補正板2，補正板安裝板1一端呈梳齒狀11，補正板2由若干個方形金屬條21組成，梳齒狀11 個數與補正板2的方形金屬條21個數相等，方形金屬條21尾端與插入梳齒狀11的齒槽，且與補正板安裝板1固定連接。

方形金屬條21尾端有一方形孔22，通過方形孔22與補正板安裝板1固定連接，且可通過方形孔22來調整方形金屬條21固定位置。

鍍膜箱內有一導軌，導軌兩側安裝有銀鈀各一塊，在導軌與銀鈀之間安裝有補正板，補正板可根據離子濺射的密集度及鍍膜需要來調整位置。在鍍膜時，把被鍍膜晶片放置于導軌上，晶片隨導軌慢慢移動，經過離子濺射區域時被鍍膜，通過補正板作用，使得鍍膜時，有些濺射在補正板上而非晶片上，從而達到使得晶板鍍膜勻稱。工作一段時間后，補正板因被鍍膜而變厚時，可拆卸下來打磨，或直接更換方形金屬條21后，再次安裝工作。

上面結合附圖對本發明優選的具體方式或實施例作了詳細說明，但是本發明并不限于上述實施方式和實施例，在本領域技術人員所具備的知識范圍內，還可以在不脫離本發明構思的前提下做出各種變化。