[實(shí)用新型]一種蒸鍍坩堝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021872001.2
• 申請(qǐng)日: 2020-09-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212655852U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林少欽
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;H01L51/56;C23C14/12
• 代理公司: 福州市博深專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 35214
• 代理人: 顏麗蓉

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種蒸鍍坩堝，包括坩堝本體、加熱組件、蓋板和用于均勻擴(kuò)散氣體的分散組件；所述蓋板具有多個(gè)均勻分布的出料孔；所述坩堝本體內(nèi)具有用于盛裝有機(jī)材料的容置腔，所述容置腔頂部具有與基板尺寸相匹配的開(kāi)口；所述加熱組件、所述分散組件和所述蓋板由下至上依次裝設(shè)于所述容置腔內(nèi)。本實(shí)用新型采用面源蒸鍍的方式，利用分散組件實(shí)現(xiàn)氣體分子的均勻擴(kuò)散，達(dá)到提高有機(jī)材料利用率的目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及顯示屏制造領(lǐng)域，尤其是指一種蒸鍍坩堝。

背景技術(shù)

有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)具有對(duì)比度更高、色域廣、視角廣、低功耗、體積更小等優(yōu)點(diǎn)，在曲面屏、可穿戴式顯示等領(lǐng)域具有更廣泛的應(yīng)用及更顯著的優(yōu)勢(shì)，在顯示技術(shù)中備受關(guān)注。

OLED顯示屏有機(jī)發(fā)光層的主要工藝流程為將裝在坩堝內(nèi)的有機(jī)材料進(jìn)行加熱升華成氣體分子，進(jìn)而附著在TFT基板的指定區(qū)域上；上述制作過(guò)程中，有機(jī)發(fā)光層的附著狀態(tài)、均一性皆影響著OLED屏的顯示效果。

現(xiàn)有蒸鍍?cè)捶贮c(diǎn)源和線源兩種，采用點(diǎn)源蒸鍍時(shí)，TFT基板會(huì)在蒸鍍?cè)瓷戏叫D(zhuǎn)，以達(dá)到材料盡可能均一附著的效果，而采用線源蒸鍍時(shí)，線源坩堝會(huì)在TFT基板下來(lái)回移動(dòng)以將材料鍍滿整個(gè)TFT基板，這兩種方式都是通過(guò)基板或者蒸鍍?cè)匆苿?dòng)的方式來(lái)蒸鍍，這將會(huì)影響到有機(jī)材料氣體氛圍，導(dǎo)致鍍膜均一性存在不佳；并且點(diǎn)源材料利用率在5％左右，線源材料利用率約20％，兩種設(shè)計(jì)均存在材料利用率低，材料存在嚴(yán)重浪費(fèi)的現(xiàn)象；而有機(jī)材料價(jià)格昂貴，在目前OLED屏的生產(chǎn)成本上材料支出占了較高比例。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種蒸鍍坩堝，提高有機(jī)材料利用率。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：

一種蒸鍍坩堝，包括坩堝本體、加熱組件、蓋板和用于均勻擴(kuò)散氣體的分散組件；

所述蓋板具有多個(gè)均勻分布的出料孔；

所述坩堝本體內(nèi)具有用于盛裝有機(jī)材料的容置腔，所述容置腔頂部具有與基板尺寸相匹配的開(kāi)口；

所述加熱組件、所述分散組件和所述蓋板由下至上依次裝設(shè)于所述容置腔內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述加熱組件包括第一加熱板和第二加熱板；

所述第二加熱板與所述第一加熱板相互交叉地連接，用于將所述容置腔分隔出多個(gè)加熱空間。

進(jìn)一步的，所述第一加熱板的厚度小于1mm。

進(jìn)一步的，所述第二加熱板的厚度小于1mm。

進(jìn)一步的，所述第一加熱板和所述第二加熱板均具有多個(gè)；

多個(gè)所述第二加熱板相互平行地設(shè)置，多個(gè)所述第一加熱板相互平行地設(shè)置；所述第二加熱板與所述第一加熱板相互垂直地設(shè)置。

進(jìn)一步的，所述開(kāi)口呈矩形、圓形或橢圓形。

進(jìn)一步的，所述容置腔的橫截面面積由下至上逐漸增大。

進(jìn)一步的，所述分散組件包括第一分散板和第二分散板；

所述第一分散板和所述第二分散板由上至下依次裝設(shè)于所述容置腔內(nèi)；

所述第一分散板與所述第二分散板間具有間距，用于在所述第一分散板、所述第二分散板和所述容置腔內(nèi)壁間形成分散腔；

所述第一分散板沿X軸方向開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一狹縫開(kāi)口；

所述第二分散板沿Y軸方向開(kāi)設(shè)有多個(gè)第二狹縫開(kāi)口；

所述第一狹縫開(kāi)口與所述第二狹縫開(kāi)口相互垂直。

進(jìn)一步的，所述出料孔豎直向上設(shè)置。