[實用新型]晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置有效
| 申請號： | 202021856929.1 | 申請日： | 2020-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN212967616U | 公開（公告）日： | 2021-04-13 |
| 發明（設計）人： | 馮喆;李虎 | 申請（專利權）人： | 上海華力集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭立 |
| 地址： | 201315 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 邊緣 修復 工藝 飛濺 裝置 | ||
1.一種晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置，其特征在于，包括：
遮擋板(01)，與晶圓同形，置于待修復晶圓(03)的上部，除待修復的晶圓邊緣部分外，貼近并覆蓋晶圓其它部位；
夾持臂，用于夾持并移動調整遮擋板(01)與待修復晶圓(03)的位置關系。
2.根據權利要求1所述的晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置，其特征在于，所述夾持臂為一可控制機械手臂(02)，所述可控制機械手臂(02)可旋轉和上下運動夾持所述遮擋板(01)并調整所述遮擋板與待修復晶圓(03)的位置關系。
3.根據權利要求2所述的晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置，其特征在于，還包括控制器(04)、檢測裝置(08)，所述控制器(04)接受或存儲指令控制所述機械手臂的運動，所述檢測裝置(08)用于實時檢測晶圓表面高度并傳輸高度數據給控制器。
4.根據權利要求3所述的晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置，其特征在于，所述控制器(04)為PLC可編程控制器。
5.根據權利要求2所述的晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置，其特征在于，所述可控制機械手臂(02)還包括電機及傳動系統(07)。
6.根據權利要求5所述的晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置，其特征在于，所述的傳動系統為齒輪傳動系統或液壓傳動系統或氣動系統。
7.根據權利要求1-6之一所述的晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置，其特征在于，遮擋板(01)通過夾持裝置(06)被夾持在夾持臂上。
8.根據權利要求7所述的晶圓邊緣修復工藝中防飛濺的裝置，其特征在于，所述夾持裝置(06)為螺栓組件或彈性夾。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
