[實用新型]石墨舟預熱冷卻系統(tǒng)及石墨舟預熱與爐體冷卻系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021849064.6
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN213203197U
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設計）人: 朱輝;張春成;趙志然;劉帥;肖潔;吳得軼
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/52;H01L31/18
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 戴玲

1.一種石墨舟預熱冷卻系統(tǒng)，其特征在于：包括半導體加熱單元(1)、預熱箱(2)和緩存架(3)，所述預熱箱(2)一端具有箱門(21)，所述半導體加熱單元(1)的熱端設有熱媒輸出管(11)和熱媒輸入管(12)，且冷端設有冷媒輸出管(13)和冷媒輸入管(14)，所述預熱箱(2)的內(nèi)壁上設有熱媒管道(41)，所述熱媒管道(41)的入口與熱媒輸出管(11)接通，且出口與熱媒輸入管(12)接通，所述緩存架(3)具有存放石墨舟(5)的緩存位(31)，所述緩存位(31)上設有冷媒管道(42)，所述冷媒管道(42)的入口與冷媒輸出管(13)接通，且出口與冷媒輸入管(14)接通。

2.根據(jù)權利要求1所述的石墨舟預熱冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述預熱箱(2)內(nèi)壁設有多根熱媒管道(41)，各熱媒管道(41)沿內(nèi)壁周向呈環(huán)形布置，且各熱媒管道(41)相互平行，各熱媒管道(41)的入口連接一個預熱箱熱媒總入口(411)，各熱媒管道(41)的出口連接一個預熱箱熱媒總出口(412)。

3.根據(jù)權利要求2所述的石墨舟預熱冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述預熱箱(2)包括箱體外殼(22)和箱體保溫層(23)，各熱媒管道(41)嵌在箱體保溫層(23)內(nèi)；所述預熱箱(2)內(nèi)設有可與各熱媒管道(41)熱交換的第一換熱器。

4.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的石墨舟預熱冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述熱媒管道(41)上接有補熱劑支管(43)，所述冷媒管道(42)上接有補冷劑支管(44)。

5.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的石墨舟預熱冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述冷媒管道(42)的下方設有向上吹風的風機(6)。

6.根據(jù)權利要求1至3任意一項所述的石墨舟預熱冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述緩存位(31)上設有多根冷媒管道(42)，且各冷媒管道(42)相互平行，各冷媒管道(42)的入口連接一個緩存位冷媒總入口(421)，各冷媒管道(42)的出口連接一個緩存位冷媒總出口(422)；所述緩存位(31)設有可與各冷媒管道(42)熱交換的第二換熱器。

7.一種石墨舟預熱與爐體冷卻系統(tǒng)，其特征在于：包括半導體加熱單元(1)、預熱箱(2)和爐體(7)，所述預熱箱(2)一端具有箱門(21)，所述半導體加熱單元(1)的熱端設有熱媒輸出管(11)和熱媒輸入管(12)，且冷端設有冷媒輸出管(13)和冷媒輸入管(14)，所述預熱箱(2)的內(nèi)壁上設有熱媒管道(41)，所述熱媒管道(41)的入口與熱媒輸出管(11)接通且出口與熱媒輸入管(12)接通，所述爐體(7)外周設有冷媒管道(42)，所述冷媒管道(42)的入口與冷媒輸出管(13)接通且出口與冷媒輸入管(14)接通。

8.根據(jù)權利要求7所述的石墨舟預熱與爐體冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述冷媒管道(42)設置多根，各冷媒管道(42)沿周向呈環(huán)形布置，且各冷媒管道(42)相互平行，各冷媒管道(42)的入口連接一個爐體冷媒總入口(423)，各冷媒管道(42)的出口連接一個爐體冷媒總出口(424)，所述爐體冷媒總入口(423)低于爐體冷媒總出口(424)。

9.根據(jù)權利要求7所述的石墨舟預熱與爐體冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述爐體(7)的兩端設有密封法蘭(8)，所述密封法蘭(8)內(nèi)設有環(huán)形冷媒管道(81)，所述環(huán)形冷媒管道(81)的入口與冷媒輸出管(13)接通且出口與冷媒輸入管(14)接通。

10.根據(jù)權利要求7所述的石墨舟預熱與爐體冷卻系統(tǒng)，其特征在于：還包括緩存架(3)，所述緩存架(3)具有存放石墨舟(5)的緩存位(31)，所述緩存位(31)上設有冷媒管道(42)，所述冷媒管道(42)的入口與冷媒輸出管(13)接通且出口與冷媒輸入管(14)接通。