[實用新型]一種旋轉鉬靶材的表面處理裝置

有效

• 申請號: 202021844370.0
• 申請日: 2020-08-29
• 公開（公告）號: CN213106079U
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 胥小勇
• 申請（專利權）人: 福建瓦能科技有限公司
• 主分類號: B24B19/00
• 分類號: B24B19/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/04;C23C14/35;C23C14/32
• 代理公司: 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340
• 代理人: 曾捷

本實用新型公開了一種旋轉鉬靶材的表面處理裝置，包括平臺，所述平臺的底部四角均固接有底座，所述滑套的內壁滑動相連有滑桿，所述滑桿的頂部固接有電機，所述電機的輸出端固接有磨盤，兩個所述推桿分別固接于橫板的頂部左右兩側，兩個所述推桿的輸出桿的一端分別通過連接軸轉動相連有第一桿體，兩個所述第一桿體的頂部分別通過連接軸與滑桿的外壁左右兩側轉動相連。該旋轉鉬靶材的表面處理裝置，使得推桿通過輸出桿與第一桿體的轉動相連，進而使得滑桿帶動電機和磨盤與外界靶材的表面進行接觸，對刮痕進行清理，螺桿帶動套筒進行升降運動，進而使得套筒通過第二桿體的牽引，帶動第二橫桿和弧形板對不同直徑的外界靶材進行固定。

技術領域

本實用新型涉及靶材技術領域，具體為一種旋轉鉬靶材的表面處理裝置。

背景技術

靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應，靶材進行使用后，靶材的表面會留有大量的刮痕，影響靶材的使用效率的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種旋轉鉬靶材的表面處理裝置，以解決上述背景技術中提出的靶材進行使用后，靶材的表面會留有大量的刮痕，影響靶材的使用效率的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種旋轉鉬靶材的表面處理裝置，包括平臺，所述平臺的底部四角均固接有底座，所述平臺的頂部加工有滑槽，所述平臺的頂部左右兩側均固接有支桿，兩個所述支桿的頂部固接有橫板，所述橫板的頂部設有處理機構；

所述處理機構包括滑套、滑桿、電機、磨盤、推桿、輸出桿和第一桿體；

所述滑套連通于橫板的頂部，所述滑套的內壁滑動相連有滑桿，所述滑桿的頂部固接有電機，所述電機的輸出端固接有磨盤，兩個所述推桿分別固接于橫板的頂部左右兩側，兩個所述推桿的輸出桿的一端分別通過連接軸轉動相連有第一桿體，兩個所述第一桿體的頂部分別通過連接軸與滑桿的外壁左右兩側轉動相連。

優選的，兩個所述第一桿體關于滑桿軸對稱分布。

優選的，所述平臺的頂部左右兩側均設有固定機構；

所述固定機構包括第一橫桿、第二橫桿、弧形板、橡膠墊和滑輪；

兩個所述第一橫桿分別固接于平臺的頂部左右兩側，兩個所述第一橫桿的內壁間隙配合有第二橫桿，兩個所述第二橫桿的外壁一端均固接有弧形板，兩個所述弧形板的弧形槽均固接有橡膠墊，兩個所述弧形板的底部均通過連接軸轉動相連有滑輪，兩個所述滑輪的外壁與滑槽的內壁滑動相連。

優選的，所述滑輪和滑槽構成滑動限位結構。

優選的，兩個所述第一橫桿的頂部均設有調節機構；

所述調節機構包括螺桿、手柄、套筒和第二桿體；

兩個所述螺桿分別通過軸承與兩個第一橫桿的頂部轉動相連，兩個所述螺桿的頂部均固接有手柄，所述螺桿的外壁螺紋相連有套筒，所述套筒通過連接軸轉動相連有第二桿體，所述第二桿體通過連接軸與第二橫桿的頂部轉動相連。

優選的，所述手柄的表面加工有磨紋。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型結構科學合理，使用安全方便。

該旋轉鉬靶材的表面處理裝置，通過推桿、輸出桿、第一桿體、滑桿、滑套、電機和磨盤之間的配合，使得推桿通過輸出桿與第一桿體的轉動相連，帶動滑桿在滑套的內壁進行升降運動，進而使得滑桿帶動電機和磨盤與外界靶材的表面進行接觸，對刮痕進行清理。