[實用新型]一種測試用電動探針座

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021839100.0
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN213240273U
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設計）人: 馬俊濤
• 申請（專利權(quán)）人: 北京硅科智能技術有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/28;G01B5/00;G01B3/18
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 楊玉廷

本實用新型公開了一種測試用電動探針座，包括驅(qū)動電機、可調(diào)連接板、帶輪、傳動皮帶、驅(qū)動千分尺、手動旋鈕、軸承座、滾珠絲杠、從動端帶輪、絲杠螺母、探針固定板、直線導軌、探針連接板和探針；本實用新型減輕了手工勞動力，提高了運行測試效率；極大的降低了生產(chǎn)采購成本；整體設計方案兼顧了安裝的便捷性和使用的可靠性；在實現(xiàn)高速高精度電動的同時，又保持了原有手動探針座的功能。

技術領域

本實用新型涉及半導體晶圓測試的裝置，具體涉及一種測試用電動探針座。

背景技術

中測(CP Test)是半導體后道封裝測試的第一站，現(xiàn)有的測試用針座通過查詢可以發(fā)現(xiàn)，多是以千分尺驅(qū)動、交叉滾子導軌做支撐和導向的層疊式驅(qū)動結(jié)構(gòu)手動針座，個別存在使用普通的螺絲驅(qū)動，燕尾導向的定位器結(jié)構(gòu)存在導軌間隙大，蛇行，無法快速準確定位的缺點。這類探針座的精度主要由千分尺的精度所保證，在使用過程中，每測試一次，都需要人工去轉(zhuǎn)動千分尺來調(diào)整位置，其中Z軸是每次都需要調(diào)整的。

在現(xiàn)有的所有設備中，精度和速度總是相互制約的，而且選用一支高精度的千分尺的價格非常的高昂，使用起來，需要進行微小移動時就需要轉(zhuǎn)動千分尺很多圈才可以達到目的。針對上述所提出的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的缺陷問題，本方案提出了一種測試用電動探針座。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術中的上述缺陷或不足，期望提供一種測試用電動探針座。

根據(jù)本實用新型實施例提供的技術方案，一種測試用電動探針座，包括驅(qū)動電機、可調(diào)連接板、帶輪、傳動皮帶、驅(qū)動千分尺、手動旋鈕、軸承座、滾珠絲杠、從動端帶輪、絲杠螺母、探針固定板、直線導軌、探針連接板和探針；所述驅(qū)動電機呈垂直狀安裝在基座上且在所述驅(qū)動電機和基座之間安裝有所述可調(diào)連接板；所述帶輪的中心孔安裝在所述驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)軸上；所述傳動皮帶的右端套接在所述帶輪的外部，所述傳動皮帶的左端套接在所述從動端帶輪的外部；在所述驅(qū)動電機和基座的下方箱體的外部安裝有所述驅(qū)動千分尺；在所述驅(qū)動電機的左側(cè)設有所述滾珠絲杠且所述滾珠絲杠呈豎向貫穿所述基座的左側(cè)基板，在所述左側(cè)基板的上表面、所述滾珠絲杠的上方固定有軸承座且所述軸承座的中心孔套接安裝在所述滾珠絲杠的軸體外部，在所述軸承座的上方、所述滾珠絲杠的上端安裝有所述手動旋鈕；所述從動端帶輪的中心孔套接在所述滾珠絲杠的軸體上且所述從動端帶輪位于所述基座的左側(cè)基板和絲杠螺母之間；在所述絲杠螺母的外部套接安裝有所述探針固定板，在所述驅(qū)動電機的下殼體的左側(cè)面外壁上安裝固定有所述直線導軌，所述探針固定板的右側(cè)面與所述直線導軌固定連接；在所述探針固定板的左側(cè)面中部的安裝固定有所述探針連接板且在所述探針連接板的下端中部位置安裝有朝向遠離所述驅(qū)動電機的所述探針。

本實用新型中，所述直線導軌的導軌運動方向與所述絲杠螺母在所述滾珠絲杠上的運動方向一致。

本實用新型中，所述帶輪和從動端帶輪根據(jù)所述傳動皮帶的傳動比需求做配套設置。

本實用新型中，所述帶輪與從動端帶輪位于同一橫向水平面上。

本實用新型中，所述絲杠螺母和滾珠絲杠根據(jù)所述滾珠絲杠的導程和所需所述探針的運動距離也就是所述滾珠絲杠的長度進行配套設置。

本實用新型中，所述探針呈橫置狀設置且與所述探針連接板之間呈垂直狀。

綜上所述，本實用新型的有益效果：

1.減輕手工勞動力，提高運行測試效率。

2.相對于其他電動針座，極大的降低了生產(chǎn)采購成本。

3.在安裝和使用過程中，整體設計方案兼顧了安裝的便捷性和使用的可靠性，比如使用了可調(diào)連結(jié)板保證安裝的松緊可調(diào)、使用直線導軌保證運行穩(wěn)定性；延長了滾珠絲杠及滾珠絲杠螺母的使用壽命。

4.在實現(xiàn)高速高精度電動的同時，又保持了原有手動探針座的功能，用戶可根據(jù)自身實際條件切換使用方式手動或電動。

附圖說明