[實(shí)用新型]拋光溫度調(diào)節(jié)裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021815464.5
• 申請(qǐng)日: 2020-08-27
• 公開（公告）號(hào): CN211589697U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟松林;魏聰;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開姓名
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華海清科（北京）科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B37/015;B24B57/02;B24B49/14;B24B55/02
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1.一種拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，用于在化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)調(diào)節(jié)拋光墊和/或拋光液的溫度，所述拋光溫度調(diào)節(jié)裝置包括調(diào)溫臂、基座和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

所述基座與所述調(diào)溫臂固定連接，所述基座與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接以帶動(dòng)所述調(diào)溫臂上下移動(dòng)；所述調(diào)溫臂的底表面的材料為高導(dǎo)熱率材料，所述調(diào)溫臂設(shè)于拋光墊上方并可下移至與拋光墊表面接觸或與拋光墊表面的拋光液接觸，所述調(diào)溫臂的內(nèi)部設(shè)有流體通道用于流通一定溫度的流體以控制所述底表面的溫度從而調(diào)節(jié)與所述底表面接觸的拋光墊或拋光液的拋光溫度。

2.如權(quán)利要求1所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括安裝在所述調(diào)溫臂底部的溫度傳感器，用于在所述調(diào)溫臂與拋光墊或拋光液接觸時(shí)檢測(cè)所述拋光溫度。

3.如權(quán)利要求2所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)溫臂的流體通道通過管路與流體供給源連接，所述管路上設(shè)有流量控制閥以調(diào)節(jié)所述流體通道內(nèi)的流體流量從而改變所述底表面的溫度。

4.如權(quán)利要求3所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括安裝在所述調(diào)溫臂底部的壓力傳感器，用于檢測(cè)所述底表面與所述拋光墊之間的壓力以控制該壓力不大于固定值從而減少所述底表面與拋光墊之間的摩擦。

5.如權(quán)利要求4所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括控制器，所述控制器分別與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述溫度傳感器、所述流量控制閥和所述壓力傳感器連接。

6.如權(quán)利要求1所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述流體通道包括分別延所述調(diào)溫臂長度方向延伸的進(jìn)液管道和出液管道，進(jìn)液管道和出液管道在調(diào)溫臂內(nèi)部遠(yuǎn)離基座的一端匯合。

7.如權(quán)利要求1所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述高導(dǎo)熱率材料為碳化硅、氮化硅或氮化鋁。

8.如權(quán)利要求1所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)溫臂的長度為0.8至1.2倍的拋光墊半徑。

9.如權(quán)利要求1所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述流體的溫度不高于20℃。

10.一種化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，其特征在于，包括：

拋光盤，其上粘接有拋光墊；

承載頭，用于吸附晶圓并將晶圓按壓在拋光墊上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；

修整器，用于對(duì)拋光墊表面進(jìn)行修整；以及，

如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的拋光溫度調(diào)節(jié)裝置。