[實(shí)用新型]一種拋光冷卻裝置和化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021815327.1
• 申請日: 2020-08-27
• 公開（公告）號: CN211589747U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孟松林;李碩;其他發(fā)明人請求不公開姓名
• 申請（專利權(quán)）人: 華海清科（北京）科技有限公司
• 主分類號: B24B55/02
• 分類號: B24B55/02;B24B37/34;B24B37/015;B24B37/10
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1.一種拋光冷卻裝置，其特征在于，用于在化學(xué)機(jī)械拋光時降低拋光墊和/或拋光液的溫度，所述拋光冷卻裝置包括冷卻輥、滑動連接機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)接頭、基座、流體管路和驅(qū)動機(jī)構(gòu)；

所述冷卻輥與滑動連接機(jī)構(gòu)固定連接，所述滑動連接機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)接頭固定連接，所述旋轉(zhuǎn)接頭與基座固定連接，所述基座與所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)連接以帶動所述冷卻輥上下移動；

所述冷卻輥包括圓柱狀的具有內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)的桿體，所述桿體的一端封閉以防止拋光液進(jìn)入所述內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)，所述桿體的另一端設(shè)有開口以使所述流體管路穿過所述開口并深入所述內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)，所述桿體的設(shè)有開口的一端與所述滑動連接機(jī)構(gòu)固定連接以使所述桿體可繞其沿長度方向的中軸自由滾動；

所述流體管路穿過所述滑動連接機(jī)構(gòu)的中間通孔并與所述旋轉(zhuǎn)接頭連接以通過所述旋轉(zhuǎn)接頭與外部的流體供給源連接；

所述冷卻輥由高導(dǎo)熱率材料制成以通過流體管路內(nèi)流通的低溫流體使桿體保持低溫，所述冷卻輥設(shè)于拋光墊上方并可下移至與拋光墊表面接觸或與拋光墊表面的拋光液接觸，從而使低溫的桿體與轉(zhuǎn)動的拋光墊接觸時在摩擦力的作用下地自由滾動進(jìn)而對拋光墊或拋光液進(jìn)行冷卻。

2.如權(quán)利要求1所述的拋光冷卻裝置，其特征在于，所述滑動連接機(jī)構(gòu)包括軸承、軸套和鎖緊螺帽；軸承與基座固定連接，軸套環(huán)繞所述桿體并與所述桿體之間通過鎖緊螺帽固定。

3.如權(quán)利要求1所述的拋光冷卻裝置，其特征在于，所述流體管路包括進(jìn)液管路和出液管路，所述進(jìn)液管路和出液管路在所述內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)內(nèi)靠近所述桿體封閉一端匯合。

4.如權(quán)利要求3所述的拋光冷卻裝置，其特征在于，所述進(jìn)液管路為彎曲盤旋狀以增加在所述內(nèi)部中空結(jié)構(gòu)內(nèi)的長度從而提高降溫效果。

5.如權(quán)利要求1所述的拋光冷卻裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)接頭通過管路與流體供給源連接，所述管路上設(shè)有流量控制閥以調(diào)節(jié)所述低溫流體的流量從而改變所述冷卻輥的表面溫度。

6.如權(quán)利要求5所述的拋光冷卻裝置，其特征在于，所述桿體的側(cè)壁內(nèi)設(shè)有應(yīng)力傳感器，用于檢測所述桿體與拋光墊之間的壓力以控制該壓力不大于預(yù)設(shè)值從而減少所述桿體表面與拋光墊之間的摩擦。

7.如權(quán)利要求6所述的拋光冷卻裝置，其特征在于，還包括安裝在所述拋光墊上的溫度傳感器，用于檢測所述拋光墊的拋光溫度。

8.如權(quán)利要求7所述的拋光冷卻裝置，其特征在于，還包括控制器，所述控制器分別與所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)、所述溫度傳感器、所述流量控制閥和所述應(yīng)力傳感器連接。

9.如權(quán)利要求1所述的拋光冷卻裝置，其特征在于，所述高導(dǎo)熱率材料為碳化硅、氮化硅或氮化鋁。

10.一種化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，其特征在于，包括：

拋光盤，其上粘接有拋光墊；

承載頭，用于吸附晶圓并將晶圓按壓在拋光墊上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；

修整器，用于對拋光墊表面進(jìn)行修整；以及，

如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的拋光冷卻裝置。