[實用新型]一種上下壓放裝置

有效

• 申請號: 202021768999.1
• 申請日: 2020-08-22
• 公開（公告）號: CN212333963U
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 蔡慶鑫;丘劭暉;李奕年
• 申請（專利權）人: 江蘇同臻智能科技有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91
• 代理公司: 江蘇銀創律師事務所 32242
• 代理人: 李挺

本實用新型公開了一種上下壓放裝置，包括交流伺服電機和壓桿；所述交流伺服電機的轉軸上設有旋轉凸輪；所述壓桿上端設有與旋轉凸輪匹配的凸輪軸承隨動器；所述旋轉凸輪與凸輪軸承隨動器匹配安裝；所述壓桿下方設有彈簧；所述壓桿在交流伺服電機和彈簧的作用下做上下往復運動。本申請的上下壓放裝置通過在交流伺服電機底部設置旋轉凸輪和與之匹配的凸輪軸承隨動器，通過交流伺服電機不斷的做順時針和逆時針運動，驅動旋轉凸輪。由于旋轉凸輪上設有螺旋遞增的斜面，使得壓桿在旋轉凸輪的作用力下向下運動，而在彈簧的作用下向上運動。而通過控制交流伺服電機的轉動角度和使用不同的旋轉凸輪調節壓桿上下運動的距離，實現精確控制。

技術領域

本實用新型涉及半導體加工設備領域，尤其是用于驅動半導體晶片取放吸嘴的上下壓放裝置。

背景技術

在半導體加工領域需要使用到取放吸嘴，取放吸嘴在工作時需要不斷的做上下往復運動。

在現有的取放吸嘴上使用的上下壓放裝置采用壓力傳動和電力驅動兩種方式，壓力傳動由于頻率無法恒定被逐漸淘汰，而電力轉動目前多采用全旋轉周期模式，然而由于半導體加工的效率的不斷提高，全旋轉模式逐漸的更不上生產需求。因為其旋轉一周所用時間太長。同時，現有技術的上下壓放裝置在安裝體積上較大，不適合緊湊型機臺。現有技術的上下壓放裝置缺少判定壓桿是否完全復位的感應裝置，因此經常出現取放吸嘴還沒有完全提起就啟動轉臺轉動的情況，從而導致設備部件發生碰撞，導致生產事故的發生。

本申請的上下壓放裝置在提高生產效率（通過減少旋轉角度，提高效率）的同時，對結構合理性做了改進，使得整體結構更加緊湊，同時增設了復位感應，對取放吸嘴的每一個行程進行實時監控，防止生產事故的發生。

發明內容

本實用新型所要解決的問題是，針對上述現有技術中的缺點，提出改進方案或者替換方案，尤其是一種提高生產效率，減少整體結構體積，防止生產事故的發生的改進或者替換方案。

為解決上述問題，本實用新型采用的方案如下：一種上下壓放裝置，其特征在于，包括交流伺服電機和壓桿；所述交流伺服電機的轉軸上設有旋轉凸輪；所述壓桿上端設有與旋轉凸輪匹配的凸輪軸承隨動器；所述旋轉凸輪與凸輪軸承隨動器匹配安裝；所述壓桿下方設有彈簧；所述壓桿在交流伺服電機和彈簧的作用下做上下往復運動。

進一步，根據上述設計方案所述上下壓放裝置，其特征在于，所述交流伺服電機通過安裝組件設置在主轉塔上；所述安裝組件包括直角連接件、L型安裝板和T型連接件；所述L型安裝板的上端與直角連接件連接，并通過直角連接件與主轉塔連接；所述T型連接件與L型安裝板下側連接；所述交流伺服電機設置在L型安裝板上；所述壓桿通過直線軌道設置在T型安裝板上；所述壓桿能夠沿直線軌道做上下往復運動。

進一步，根據上述設計方案所述上下壓放裝置，其特征在于，所述旋轉凸輪上設有螺旋遞增的斜面。

進一步，根據上述設計方案所述上下壓放裝置，其特征在于，所述直線軌道通過軌道安裝板與T型連接件連接；所述直線軌道設置在軌道安裝板上；所述壓桿固定設置在直線軌道上，且壓桿能夠沿直線軌道做上下往復運動。

進一步，根據上述設計方案所述上下壓放裝置，其特征在于，所述軌道安裝板底部連接設有彈簧安裝件；所述彈簧安裝件與軌道安裝板垂直設置；所述彈簧設置在彈簧安裝件與壓桿之間。

進一步，根據上述設計方案所述上下壓放裝置，其特征在于，還包括計數感應器；所述計數感應器包括光電感應器和感應器信號；所述光電感應器設置在軌道安裝板一側；所述感應器信號設置在壓桿上；當壓桿向上運動時感應器信號進入光電感應器感應范圍，當壓桿向下運動時感應器信號脫離光電感應器的感應范圍。

進一步，根據上述設計方案所述上下壓放裝置，其特征在于，所述直線軌道包括直線滑軌和滑塊；所述滑塊設置在直線滑軌上；所述直線滑軌設置在軌道安裝板上；所述壓桿固定設置在滑塊上。