[實用新型]一種帶有氬氣流量監(jiān)控功能的ICP氣流保護裝置有效

申請?zhí)枺?/td>	202021750956.0	申請日：	2020-08-20
公開（公告）號：	CN213207289U	公開（公告）日：	2021-05-14
發(fā)明（設計）人：	吳海榮	申請（專利權）人：	蘇州普業(yè)儀器有限公司
主分類號：	F17D3/01	分類號：	F17D3/01
代理公司：	深圳紫晴專利代理事務所(普通合伙) 44646	代理人：	陳映輝
地址：	215300 江蘇省蘇***	國省代碼：	江蘇;32
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種帶有流量監(jiān)控功能 icp 氣流保護裝置
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權利要求書】：

1.一種帶有氬氣流量監(jiān)控功能的ICP氣流保護裝置，包括氬氣管(1)，其特征在于：所述氬氣管(1)內設置有壓縮氬氣，所述氬氣管(1)上依次設置有減壓閥(2)和質量流量控制器(3)，所述質量流量控制器(3)位于減壓閥(2)的出氣端，所述質量流量控制器(3)的輸出端雙向信號連接有ICP主控系統的上位機軟件(4)，所述ICP主控系統的上位機軟件(4)的輸出端雙向信號連接有氣流保護系統(5),所述氣流保護系統(5)的輸出端電性連接有ICP設備的供電設備(6)。

下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于蘇州普業(yè)儀器有限公司，未經蘇州普業(yè)儀器有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202021750956.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。