[實用新型]一種低輻射鍍膜玻璃生產線真空腔體有效

申請號：	202021738206.1	申請日：	2020-08-19
公開（公告）號：	CN213142179U	公開（公告）日：	2021-05-07
發明（設計）人：	張山山;王國璐;劉宇;付成杰;高敏;張鐘宇	申請（專利權）人：	中建材光電裝備（太倉）有限公司
主分類號：	C23C14/56	分類號：	C23C14/56
代理公司：	安徽省蚌埠博源專利商標事務所(普通合伙) 34113	代理人：	陳俊
地址：	215400 江蘇省蘇州市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種輻射鍍膜玻璃生產線空腔
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【權利要求書】：

1.一種低輻射鍍膜玻璃生產線真空腔體，包括進口室、真空室與出口室，進口室入口設有第一門閥，進口室與真空室之間設有第二門閥，真空室與出口室之間設有第三門閥，出口室出口設有第四門閥，其特征在于，所述進口室內設有第五門閥，第五門閥將進口室分隔成外進口室與內進口室；出口室內設有第六門閥，第六門閥將出口室分隔成內出口室與外出口室；

當第五門閥與第六門閥為常開狀態時，外進口室與內進口室作為一個整體進口室使用，內出口室與外出口室作為一個整體出口室使用；

當第二門閥與第三門閥為常開狀態時，外進口室和外出口室均分別單獨使用，內進口室、真空室與內出口室作為一個整體真空室使用；

所述外進口室、真空室與外出口室分別連接有真空泵組。

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