[實用新型]一種電子探針用新型樣品臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021736270.6
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN212872258U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐爽;張玉強;林培軍;李鳳春;王繼林;欒日堅;郭騰達;顧清宇;牟瑜;張姝
• 申請（專利權(quán)）人: 山東正元地質(zhì)資源勘查有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01N23/2252
• 分類號: G01N23/2252;G01N23/2204
• 代理公司: 濟南譽琨知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37278
• 代理人: 袁彤彤

本實用新型公開了一種電子探針用新型樣品臺，包括樣品臺，標(biāo)樣孔槽，探針片槽，橫向支撐桿，縱向支撐桿，緊固壓片，滑槽，緊固螺母，橫向定位孔和縱向定位孔，所述樣品臺內(nèi)部設(shè)置有標(biāo)樣孔槽，所述標(biāo)樣孔槽下側(cè)設(shè)置有探針片槽，所述探針片槽內(nèi)部連接有橫向支撐桿，所述橫向支撐桿左右兩側(cè)設(shè)置有橫向定位孔，所述橫向支撐桿上側(cè)設(shè)置有縱向支撐桿，所述縱向支撐桿前后兩側(cè)設(shè)置有縱向定位孔，所述探針片槽下側(cè)設(shè)置有緊固壓片，所述緊固壓片上側(cè)設(shè)置有貫穿的滑槽，所述滑槽內(nèi)部連接有緊固螺母，該實用新型在放入探針片的同時，可以放入標(biāo)準(zhǔn)樣品靶，并對于非常規(guī)尺寸的樣品片也可以直接放入樣品臺，不用對其二次加工，更加符合實際測試過程中的應(yīng)用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及地質(zhì)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種電子探針用新型樣品臺。

背景技術(shù)

現(xiàn)有電子探針的樣品臺都是放置樣品(探針片、靶)的樣品臺與放置標(biāo)樣的樣品臺是分開的(原樣品臺見圖1)，在實際生產(chǎn)中，測試樣品多以探針片為主，樣品靶次之，但是標(biāo)樣，無論是美國SPI標(biāo)樣還是國標(biāo)，都是圓形的具有一定厚度的標(biāo)樣靶，在正常測試過程中，要先放入標(biāo)樣樣品臺，然后在全部測試完標(biāo)樣以后，再將標(biāo)樣取出，將放置樣品的樣品臺放入儀器，但是在測試過程中如果出現(xiàn)數(shù)據(jù)有偏差，想要對標(biāo)樣進行測試查看問題出現(xiàn)的原因，就需要將樣品取出，在將標(biāo)樣放入，不僅需要抽放真空，操作繁瑣且耗時，而且樣品再放入后，位置會有偏差，后期打點、拍照、投圖都會有影響，在日常測試中也無法做到隨時插入監(jiān)控樣，無法實時監(jiān)控數(shù)據(jù)質(zhì)量。

對于現(xiàn)在測試的探針片基本都是有固定尺寸的，但是也會偶爾有非常規(guī)尺寸的片子要進行測試，就要對其進行切割處理，會存在污染樣品的風(fēng)險。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種電子探針用新型樣品臺，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種電子探針用新型樣品臺，包括樣品臺，標(biāo)樣孔槽，探針片槽，橫向支撐桿，縱向支撐桿，緊固壓片，滑槽，緊固螺母，橫向定位孔和縱向定位孔，所述樣品臺內(nèi)部設(shè)置有標(biāo)樣孔槽，所述標(biāo)樣孔槽下側(cè)設(shè)置有探針片槽，所述探針片槽內(nèi)部連接有橫向支撐桿，所述橫向支撐桿左右兩側(cè)設(shè)置有橫向定位孔，所述橫向支撐桿上側(cè)設(shè)置有縱向支撐桿，所述縱向支撐桿前后兩側(cè)設(shè)置有縱向定位孔，所述探針片槽下側(cè)設(shè)置有緊固壓片，所述緊固壓片上側(cè)設(shè)置有貫穿的滑槽，所述滑槽內(nèi)部連接有緊固螺母。

優(yōu)選的，述橫向支撐桿與縱向支撐桿分別通過橫向定位孔與縱向定位孔的作用設(shè)置在探針片槽內(nèi)部，且橫向支撐桿與縱向支撐桿呈“井”字型結(jié)構(gòu)，所述橫向定位孔與縱向定位孔在不使用的時候有相對應(yīng)的堵塞裝置。

優(yōu)選的，述標(biāo)樣孔槽共有兩個，且左右對稱設(shè)置。

優(yōu)選的，述緊固壓片共四個，下端均勻分布三個，上端中心位置設(shè)置有一個。

優(yōu)選的，所述樣品臺上側(cè)設(shè)置有定位孔，所述定位孔與緊固螺母通過螺紋連接，對緊固壓片進行緊固連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該實用新型在放入探針片的同時，可以放入標(biāo)準(zhǔn)樣品靶，并對于非常規(guī)尺寸的樣品片也可以直接放入樣品臺，而不用對其進行二次加工，更加符合實際測試過程中的應(yīng)用，更加方便有效的監(jiān)控數(shù)據(jù)質(zhì)量。

1、設(shè)計有兩個放置標(biāo)樣靶的標(biāo)樣孔槽，這樣更加方便測試，可以同時放入3個探針片和兩個標(biāo)樣靶，如果遇到數(shù)據(jù)不穩(wěn)定的問題，不需要來回抽放真空進行樣品交換，可以直接移到標(biāo)樣上進行測試，從而查找問題，在數(shù)據(jù)監(jiān)控的時候也更方便的去穿插標(biāo)樣，來監(jiān)控數(shù)據(jù)質(zhì)量以及儀器穩(wěn)定性。

2、在樣品臺的探針片槽內(nèi)部增加3條支撐桿，在原本3個下方緊固壓片的基礎(chǔ)上，在上方正中間增加一個緊固壓片，更加能夠滿足不同尺寸的樣品片的放入和固定。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；