[實用新型]一種濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具

有效

• 申請號: 202021728010.4
• 申請日: 2020-08-19
• 公開（公告）號: CN213468853U
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 王國秋;黃堅;陳璀;楊經緯
• 申請（專利權）人: 湖南啟泰傳感科技有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B13/00;B25B11/00
• 代理公司: 長沙睿翔專利代理事務所(普通合伙) 43237
• 代理人: 周松華;孫建霞

本實用新型涉及一種濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具，上夾板分布有上定位孔，上夾板的邊緣形成有上臺階凸起，上夾板的角部形成有上滑入缺口；下夾板分布有下定位孔，下夾板的邊緣形成有下臺階凸起，下夾板的角部形成有下滑入缺口；敏感芯片置于上下對齊后的上夾板和下夾板之間，C型扣從上下對齊的上滑入缺口和下滑入缺口滑入，C型扣滑動至上下對齊的上臺階凸起和下臺階凸起處，C型扣阻止上下對齊后的上夾板和下夾板分離。本技術方案上夾板、下夾板邊緣采用C型扣的方式固定，不需要裝卸螺絲，方便快捷，C型扣材質為聚四氟乙烯，具有一定的彈性方便固定；上夾板和下夾板的結構和尺寸完全一致，保證上下夾板的可互換性。

技術領域

本實用新型涉及一種清洗夾具，特別涉及一種濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具。

背景技術

半導體基材清洗方式分為化學清洗和物理清洗，其中化學清洗包括酸性、堿洗、有機洗、有機脫水等方式，這就要求清洗夾具的所有零部件均能耐住酸、堿和有機溶劑的腐蝕。半導體行業常見的基底為硅片，業界已經有很成熟的夾具設計應用，但針對特殊行業的基底，尤其是基底是異型結構的行業，實現夾具的適用性、便捷性是一個需要解決的難題。

傳統的夾具設計一般采用不銹鋼或聚四氟乙烯材質，用不銹鋼螺絲固定上下夾具板，其中不銹鋼夾具和螺絲長時間使用會被酸液腐蝕，且腐蝕產生的污染物可能影響到產品性能；聚四氟乙烯材質可耐酸堿有機溶劑，但聚四氟乙烯材質在高溫藥液中易軟化變形，壽命短，且變形容易造成清洗過程中產品掉落。

實用新型內容

本實用新型目的在于提供一種濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具，裝卸和固定方式便捷，且沒有金屬螺絲等易腐蝕的材質。

本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下：一種濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具，敏感芯片設有環狀裙邊，清洗夾具包括上夾板、下夾板和C型扣；所述上夾板分布有上定位孔，上夾板的邊緣形成有上臺階凸起，上夾板的角部形成有上滑入缺口；所述下夾板分布有下定位孔，下夾板的邊緣形成有下臺階凸起，下夾板的角部形成有下滑入缺口；

所述敏感芯片置于上下對齊后的上夾板和下夾板之間，所述C型扣從上下對齊的所述上滑入缺口和下滑入缺口滑入，C型扣滑動至上下對齊的所述上臺階凸起和下臺階凸起處，C型扣阻止上下對齊后的所述上夾板和下夾板分離。

作為濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具的優選方案，所述上夾板和下夾板均分布有加強筋；

所述加強筋和上臺階凸起的交匯處，所述加強筋和下臺階凸起的交匯處，均設有限位圓弧，所述限位圓弧阻擋所述C型扣的滑動。

作為濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具的優選方案，所述敏感芯片的上部置于所述上定位孔，敏感芯片的下部置于所述下定位孔，所述上定位孔和下定位孔的孔徑均小于所述敏感芯片的環狀裙邊外徑。

作為濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具的優選方案，所述C型扣包括滑入口和卡接通口，所述C型扣經所述滑入口從上下對齊的所述上滑入缺口和下滑入缺口滑入，上下對齊的所述上臺階凸起和下臺階凸置于所述卡接通口中。

作為濺射薄膜壓力敏感芯片清洗夾具的優選方案，所述上夾板和下夾板采用聚醚醚酮材質，所述C型扣采用聚四氟乙烯材質。

本實用新型上夾板分布有上定位孔，上夾板的邊緣形成有上臺階凸起，上夾板的角部形成有上滑入缺口；下夾板分布有下定位孔，下夾板的邊緣形成有下臺階凸起，下夾板的角部形成有下滑入缺口；敏感芯片置于上下對齊后的上夾板和下夾板之間，C型扣從上下對齊的上滑入缺口和下滑入缺口滑入，C型扣滑動至上下對齊的上臺階凸起和下臺階凸起處，C型扣阻止上下對齊后的上夾板和下夾板分離。本技術方案夾具上夾板、下夾板部件采用化學穩定性強且不易變形的聚醚醚酮材質，可耐住幾乎所有的酸、堿和有機物的腐蝕；上夾板、下夾板邊緣采用C型扣的方式固定，不需要裝卸螺絲，方便快捷，C型扣材質為聚四氟乙烯，具有一定的彈性方便固定；可以承受至少100℃高溫不變形；上夾板和下夾板的結構和尺寸完全一致，保證上下夾板的可互換性。