[實(shí)用新型]一種單晶硅高效清洗裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202021719376.5 | 申請(qǐng)日： | 2020-08-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN213124383U | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-05-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡安東 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 揚(yáng)州宏祥光電科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L21/67 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 225600 江蘇*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 單晶硅 高效 清洗 裝置 | ||
1.一種單晶硅高效清洗裝置，包括頂部敞口且底部設(shè)有出水口的清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)頂部可拆卸安裝有支撐板(2)，所述清洗槽(1)內(nèi)豎直設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸(3)，所述旋轉(zhuǎn)軸(3)的頂端穿過(guò)所述支撐板(2)與電機(jī)(4)的輸出軸機(jī)械固接，所述旋轉(zhuǎn)軸(3)上可拆卸固定有兩個(gè)相互對(duì)稱(chēng)設(shè)置的格柵箱(5)，所述格柵箱(5)內(nèi)間隔安裝設(shè)有若干分隔板(6)，所述分隔板(6)之間形成放置硅片的空間，所述清洗槽(1)的內(nèi)側(cè)壁及底部安裝有超聲發(fā)生器(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅高效清洗裝置，其特征在于：所述清洗槽(1)頂端兩側(cè)分別開(kāi)設(shè)有插槽(11)，所述支撐板(2)的兩端向下延伸部的內(nèi)側(cè)分別固設(shè)有插條(21)，所述插條(21)插入所述插槽(11)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅高效清洗裝置，其特征在于：所述分隔板(6)的側(cè)壁上固定有軟性卡塊(8)。
該專(zhuān)利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)。該專(zhuān)利全部權(quán)利屬于揚(yáng)州宏祥光電科技有限公司，未經(jīng)揚(yáng)州宏祥光電科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專(zhuān)利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202021719376.5/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專(zhuān)利網(wǎng)。
- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
