[實用新型]石英管無動力清洗裝置

有效

• 申請號: 202021686399.0
• 申請日: 2020-08-13
• 公開（公告）號: CN213103610U
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 白忠華;裴文龍;陳晨;張少陽;谷曉東
• 申請（專利權）人: 蘇州芯矽電子科技有限公司
• 主分類號: B08B9/023
• 分類號: B08B9/023;B08B9/032;B08B13/00
• 代理公司: 南京艾普利德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32297
• 代理人: 陸明耀

本實用新型揭示了一種石英管無動力清洗裝置，包括一箱體；一承載機構，設置在所述箱體內，用以承載倒扣放置的石英管；一驅動組件，設置在所述承載機構的一側，用以驅動所述承載機構自轉；一多方位噴嘴，設置在所述承載機構上，用以對所述石英管的內壁進行清洗；一自動力噴嘴，設置在所述承載機構的上方，用以對所述石英管的外壁進行清洗。本實用新型的有益效果主要體現在：自動化程度高，只需將石英管倒扣在承載板上，即可實現自動清洗，多方位噴嘴對準石英管內部清洗，噴嘴可以清洗石英管內壁及石英管內壁上的死角；自動力噴嘴可在噴射力的作用下，自動轉動，對石英管外壁進行清洗，無需電機的驅動，極大程度上降低成本。

技術領域

本實用新型涉及清洗設備技術領域，具體而言，尤其涉及一種石英管無動力清洗裝置。

背景技術

石英制品以其優良的物理化學特性被廣泛應用于集成電路芯片生產線。由于集成電路芯片的高規格要求，需要對所用的石英鐘罩進行嚴格的清洗。現有的全自動化石英鐘罩清洗裝置人工操作繁瑣，不能實現一體化全自動清洗功能，其清洗液一般采用人工配制和手動加入，而清洗液一般采用強酸和強堿配制成一定比例后使用，因此采用人工操作會對人體健康造成危害，且人工操作會有很多不可控制因素，人體的疲勞程度、觀察角度和人員責任心都會影響清洗液的配比是否達到標準。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種石英管無動力清洗裝置。

本實用新型的目的通過以下技術方案來實現：

一種石英管無動力清洗裝置，包括

一箱體；

一承載機構，設置在所述箱體內，用以承載倒扣放置的石英管；

一驅動組件，設置在所述承載機構的一側，用以驅動所述承載機構自轉；

一多方位噴嘴，設置在所述承載機構上，用以對所述石英管的內壁進行清洗；

一自動力噴嘴，設置在所述承載機構的上方，用以對所述石英管的外壁進行清洗。

優選的，所述自動力噴嘴包括固設在所述箱體上的檔條，所述檔條之間設有與之固接的擋板，所述擋板上通過軸承樞軸設有一呈十字形的鎖止爪，所述鎖止爪上連接有相應出水管，所述出水管上設有噴頭Ⅰ，所述噴頭Ⅰ上開設有半弧形出水口Ⅰ，經所述半弧形出水口Ⅰ射出的水流與水平面形成夾角；所述出水管上還連接有連接管，所述連接管的中軸線與所述出水管形成的夾角為鈍角，所述連接管上設有噴頭Ⅱ，所述噴頭Ⅱ上開設有半弧形出水口Ⅱ，經所述半弧形出水口Ⅱ射出的水流與水平面形成夾角。

優選的，所述驅動組件包括設置在所述箱體內的L形的固定板，所述固定板上固設有一驅動電機，所述驅動電機的電機軸通過聯軸器與轉軸固接，所述轉軸上固設有一第一主動齒輪；所述箱體上還設有一固定塊，所述固定塊上設有一可自轉地旋轉柱，所述旋轉柱上固設有一第一從動齒輪，所述第一從動齒輪和第一主動齒輪之間通過鏈條連接；所述承載機構固接在所述旋轉柱上。

優選的，所述箱體上還設有用以控制所述承載機構旋轉圈數的控制組件，所述控制組件包括固設在所述固設在所述轉軸上的第二主動齒輪，所述固定板上固設有一第二從動齒輪，所述第二從動齒輪和所述第二主動齒輪相嚙合；所述第二從動齒輪上還固設有一卡片，所述固定板上固設有一支撐塊，所述支撐塊上固設有一位移傳感器，部分所述卡片可延伸至設置在所述位移傳感器上的測量口內。

優選的，所述箱體上還設有支撐柱，所述支撐柱上樞軸設有一張緊齒輪，所述張緊齒輪與所述鏈條緊貼。

優選的，所述承載機構包括固設在所述旋轉柱上的承載板，所述承載板上開設有一組用以排除清洗液的排水口和用以對所述石英管死角進行噴淋清洗的噴淋噴嘴，所述噴淋噴嘴由閥門控制。

優選的，所述承載板上還設有用以將所述石英管限位的限位塊和限位條。