[實用新型]LCD工藝中的成像用丙烯酸顯影液的再生系統

有效

• 申請號: 202021600404.1
• 申請日: 2020-08-05
• 公開（公告）號: CN213610167U
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 金太周
• 申請（專利權）人: 上海三盼半導體設備有限公司
• 主分類號: B01D35/12
• 分類號: B01D35/12;B01D35/16;B01D61/18;B01D61/00;B01D65/02
• 代理公司: 上海世圓知識產權代理有限公司 31320
• 代理人: 陳穎潔;王佳妮

1.一種LCD工藝中的成像用丙烯酸顯影液的再生系統，其特征在于，主要包括：

第一過濾器單元（F1）；所述第一過濾器單元的顯影廢液進口處設有第一流入壓力傳感器（T1）；所述第一過濾器單元（F1）的再生液出口處設有第一排出壓力傳感器（T2）；與所述第一過濾器單元（F1）并聯設置的第二過濾器單元（F2）；所述第二過濾器單元（F2）的顯影廢液進口處設有第二流入壓力傳感器（T3）；所述第二過濾器單元（F2）的再生液出口處設有第二排出壓力傳感器（T4）；

所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的顯影廢液進口，分別通過流入管路與顯影廢液儲罐（2）相連接，該流入管路上設有動力泵（P1）；所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的再生液出口，分別通過流出管路與再生顯影液儲罐（6）相連接；

所述第一過濾器單元（F1）的再生液出口設有第一濁度測量管（L1），所述第二過濾器單元（F2）的再生液出口設有第二濁度測量管（L2），所述第一濁度測量管（L1）和第二濁度測量管（L2）分別通過設有濁度計（D1）的第三濁度測量管（L3）后，再通過排出管路與所述顯影廢液儲罐（2）相連接；

所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的顯影廢液進口，還分別通過清洗液流入管路與清洗液儲罐（7）相連接，在該清洗液流入管路上設有驅動泵（P2）和清洗液總閥門（V29），在清洗液進入所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的入口處分別設有第一清洗液閥門（V9）和第二清洗液閥門（V19）；所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的清洗液出口處分別通過帶有第十閥門（V10）和第二十閥門（V20）的管路與清洗液排干管路（8）相連接。

2.根據權利要求1所述的再生系統，其特征在于，在所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的顯影廢液進口外，還分別設有第一閥門（V1）和第十一閥門（V11）；在所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的再生液出口外，還分別設有第三閥門（V3）和第十三閥門（V13）；在所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的未被過濾的顯影廢液出口處，分別設有第四閥門（V4）和第十四閥門（V14），并通過流出管路與所述顯影廢液儲罐（2）相連接；所述第一濁度測量管（L1）和第二濁度測量管（L2）的入口處，分別設有第二閥門（V2）和第十二閥門（V12）。

3.根據權利要求2所述的再生系統，其特征在于，在所述第一過濾器單元（F1）的顯影廢液進口外，所述第一閥門（V1）與第一流入壓力傳感器（T1）之間，還設有帶有第二十一閥門（V21）的管路與所述清洗液排干管路（8）相連接；在所述第二過濾器單元（F2）的顯影廢液進口外，所述閥門（V11）與第二流入壓力傳感器（T3）之間，還設有帶有第二十二閥門（V22）的管路與所述清洗液排干管路（8）相連接；所述第一濁度測量管（L1）和第二濁度測量管（L2）的入口處，所述第二閥門（V2）和第十二閥門（V12）之前，還分別設有帶有第二十三閥門（V23）和第二十四閥門（V24）的管路與所述清洗液排干管路（8）相連接。

4.根據權利要求1所述的再生系統，其特征在于，所述清洗液儲罐（7）具備從超純水儲罐（3）引入超純水的管道及第二十五閥門（V25），從稀釋劑儲罐（9）中引入稀釋劑的管道及第二十六閥門（V26），從顯影液新液儲罐（5）中引入新鮮顯影液的管道及第二十七閥門（V27）；所述清洗液儲罐（7）還具有管路與排液泵（P4）相連接。

5.根據權利要求1所述的再生系統，其特征在于，在所述第一過濾器單元（F1）和所述第二過濾器單元（F2）的未被過濾的顯影廢液出口處，還分別設有通過第七閥門（V7）和第十七閥門（V17）的管路與所述清洗液儲罐（7）相連接。