[實用新型]微波等離子體化學氣相沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021593746.5
• 申請日: 2020-08-04
• 公開（公告）號: CN212505057U
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設計）人: 牛進毅;苗岱
• 申請（專利權）人: 山西云矽電子科技有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/44;C23C16/511
• 代理公司: 西安嘉思特知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 61230
• 代理人: 劉長春

1.一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，包括：

波導裝置(100)；

反應腔(200)，設置在所述波導裝置(100)下方，與所述波導裝置(100)連接；

冷卻罩(300)，與所述反應腔(200)連接，用于對所述反應腔(200)進行風冷散熱；

屏蔽罩(400)，圍設在所述反應腔(200)外部，以防止所述反應腔(200)內的電磁輻射泄漏；

旋轉升降機構，所述旋轉升降機構與所述反應腔(200)內設置的生長平臺(201)連接，以實現(xiàn)所述生長平臺(201)在所述反應腔(200)內做直線運動和旋轉運動。

2.根據(jù)權利要求1所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述冷卻罩(300)包括均風板(301)、引風道(302)、風機(303)和連接管(304)，其中，

所述均風板(301)設置在所述屏蔽罩(400)上方；

所述引風道(302)與所述均風板(301)連接；

所述風機(303)通過所述連接管(304)與所述引風道(302)連接。

3.根據(jù)權利要求2所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述均風板(301)上設置有若干通風孔(3011)。

4.根據(jù)權利要求1所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述屏蔽罩(400)上設置有若干通孔(401)。

5.根據(jù)權利要求4所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述通孔(401)的直徑小于或等于需屏蔽電磁波波長的1/10。

6.根據(jù)權利要求1所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述旋轉升降機構包括主軸(500)、升降機構(600)和旋轉機構(700)，所述主軸(500)與所述生長平臺(201)連接；

所述升降機構(600)與所述主軸(500)連接，以驅動所述主軸(500)帶動所述生長平臺(201)在所述反應腔(200)內上下移動；

所述旋轉機構(700)與所述主軸(500)連接，以驅動所述主軸(500)帶動所述生長平臺(201)在所述反應腔(200)內做旋轉運動。

7.根據(jù)權利要求6所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述升降機構(600)包括第一伺服電機(601)、第一傳動件以及第一控制器，其中，

所述第一傳動件分別與所述第一伺服電機(601)和所述主軸(500)連接；

所述第一控制器與所述第一伺服電機(601)連接，用于控制所述第一伺服電機(601)驅動所述第一傳動件運動，以使所述主軸(500)帶動所述生長平臺(201)在所述反應腔(200)內上下移動。

8.根據(jù)權利要求6所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述旋轉機構(700)包括第二伺服電機(701)、第二傳動件以及第二控制器，其中，

所述第二傳動件分別與所述第二伺服電機(701)和所述主軸(500)連接；

所述第二控制器與所述第二伺服電機(701)連接，用于控制所述第二伺服電機(701)驅動所述第二傳動件運動，以使所述主軸(500)帶動所述生長平臺(201)在所述反應腔(200)內做旋轉運動。

9.根據(jù)權利要求8所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，還包括冷卻機構(800)，所述冷卻機構(800)包括套接在所述主軸(500)外部的水套軸(801)，其中，

所述水套軸(801)側面開設有冷卻水進口(8011)和冷卻水出口(8012)；

所述主軸(500)內部設置有進水通道(802)和出水通道(803)，所述進水通道(802)通過開設在所述主軸(500)上的進水槽(804)與所述冷卻水進口(8011)連接，所述出水通道(803)通過開設在所述主軸(500)上的出水槽(805)與所述冷卻水出口(8012)連接。

10.根據(jù)權利要求1所述的微波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于，還包括抽真空裝置(900)，與所述反應腔(200)連接。