[實(shí)用新型]全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021571978.0
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN212392217U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏博
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州新尚思自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66;H01L21/683
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 方中

1.一種全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其包括晶圓載架、在線目檢機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述晶圓載架包括架座、能夠繞著自身的徑向自由轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述架座上的架環(huán)、設(shè)置在所述架環(huán)上且能夠形成與晶圓外徑匹配定位區(qū)的支撐部件、設(shè)置在所述架環(huán)上且能夠同步抵觸在所述晶圓周邊的夾持部件，其中在所述夾持部件的端面上形成有與所述晶圓邊緣匹配的卡槽，所述卡槽和所述晶圓的周邊點(diǎn)或線接觸；

所述晶圓檢測系統(tǒng)還包括設(shè)置在所述架座上且用于驅(qū)動所述架環(huán)自由轉(zhuǎn)動的第一翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、用于驅(qū)動所述的架座繞著豎直方向延伸的中心自由轉(zhuǎn)動的第二翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中所述的第一翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動軸心線與所述第二翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動軸心線相交設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述的支撐部件包括多個(gè)沿著所述架環(huán)的徑向向所述架環(huán)中部延伸的支撐模塊，其中多個(gè)所述支撐模塊遠(yuǎn)離所述架環(huán)的端部形成所述的定位區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：多個(gè)所述支撐模塊關(guān)于所述架環(huán)的轉(zhuǎn)動中心線對稱分布在兩個(gè)所述架環(huán)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述夾持部件包括多個(gè)沿著所述架環(huán)的徑向向所述架環(huán)中部延伸的夾持模塊、以及驅(qū)動多個(gè)所述夾持模塊同步運(yùn)動以夾持或脫離所述晶圓的動力器，其中所述卡槽位于每個(gè)所述夾持模塊遠(yuǎn)離所述架環(huán)的端面上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：在所述架環(huán)上設(shè)有沿著所述架環(huán)徑向延伸的滑軌，所述的滑軌至少有兩條，所述動力器與所述滑軌一一對應(yīng)設(shè)置，且多個(gè)所述的動力器同步運(yùn)動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述的滑軌有兩條，且位于同一條直線上，其中兩條滑軌的連線與所述架環(huán)的轉(zhuǎn)動中心線平行設(shè)置；

每個(gè)所述動力器包括對應(yīng)滑動設(shè)置在所述滑軌上的器座、用于將所述的器座和多個(gè)所述夾持模塊遠(yuǎn)離所述卡槽的端部相銜接的弧形連接條、以及驅(qū)動所述器座在所述滑軌上直線運(yùn)動的驅(qū)動件；其中所述弧形連接條對應(yīng)設(shè)有兩個(gè)，多個(gè)所述的夾持模塊關(guān)于所述轉(zhuǎn)動中心線對稱分布在兩個(gè)所述弧形連接條上。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述卡槽的深度為0.1~2.0mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：在所述架環(huán)對應(yīng)轉(zhuǎn)動中心線的一側(cè)形成避讓取送機(jī)械手取放晶圓的缺口，并呈C型，所述的支撐部件和所述夾持部件對應(yīng)設(shè)置在C型的所述架環(huán)上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述的架座包括呈圓形成的架盤、自所述架盤內(nèi)部向上延伸的兩根架臂，所述架環(huán)分別通過樞軸轉(zhuǎn)動連接兩根所述架臂之間，且兩根所述架臂能夠避讓所述架環(huán)的轉(zhuǎn)動。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的全自動目檢機(jī)的晶圓檢測系統(tǒng)，其特征在于：所述的第一翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述架臂上的翻轉(zhuǎn)馬達(dá)、用于將所述翻轉(zhuǎn)馬達(dá)與所述樞軸傳動連接的第一傳動件；所述的第二翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在目檢機(jī)架板上的翻轉(zhuǎn)座、設(shè)置在所述的翻轉(zhuǎn)座內(nèi)且豎直延伸的轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動馬達(dá)、用于將所述驅(qū)動馬達(dá)和所述轉(zhuǎn)軸傳動連接的第二傳動件，其中所述轉(zhuǎn)軸的上端部通過連接件固定在所述架盤底部，所述轉(zhuǎn)軸的中心與所述架盤的中心重合。