[實(shí)用新型]多路承片臺(tái)托盤

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021556110.3
• 申請(qǐng)日: 2020-07-31
• 公開（公告）號(hào): CN212412030U
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹麗萍;張萬(wàn)財(cái);王加初;文康
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 平?jīng)鍪欣媳萍佳邪l(fā)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687
• 代理公司: 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 鄧蕓

1.多路承片臺(tái)托盤，包括一個(gè)圓盤形結(jié)構(gòu)的八吋托盤，其特征在于，所述八吋托盤上下端面平行，上端面開設(shè)有多個(gè)不同吋數(shù)的氣槽及相對(duì)應(yīng)的多個(gè)密封托盤圈槽，圓周側(cè)面上垂直于軸線方向開設(shè)有多路貫穿型的階梯通孔，各階梯通孔于八吋托盤軸線處相交，下端面軸線方向上還開設(shè)有一個(gè)用于連接氣路主體的中心氣孔，中心氣孔與各階梯通孔連通；各氣槽的槽內(nèi)均開設(shè)有多個(gè)氣路連接孔，氣路連接孔與階梯通孔連通；對(duì)應(yīng)于階梯通孔還匹配有多個(gè)不同吋數(shù)的螺塞桿。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述氣槽包括兩圈四吋?xì)獠邸⒁蝗ξ鍏細(xì)獠邸⒁蝗α鶇細(xì)獠酆鸵蝗Π藚細(xì)獠郏膮細(xì)獠叟c五吋?xì)獠邸⑽鍏細(xì)獠叟c六吋?xì)獠邸⒘鶇細(xì)獠叟c八吋?xì)獠壑g各開設(shè)有一圈密封托盤圈槽，八吋?xì)獠鄣耐馊σ查_設(shè)有一圈整體密封用的密封托盤圈槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述階梯通孔為四路，四路所述階梯通孔均布于圓周側(cè)面上，且均在垂直于軸線的同一平面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述階梯通孔均為四個(gè)階梯，從內(nèi)到外分別為四吋?xì)饴冯A梯孔、同一圓周上的五吋?xì)饴冯A梯孔和六吋?xì)饴冯A梯孔、八吋?xì)饴冯A梯孔及最外側(cè)沉孔階梯，其中，四吋?xì)饴冯A梯孔為第一階梯通孔，其直徑最小，五吋?xì)饴冯A梯孔和六吋?xì)饴冯A梯孔為第二階梯通孔，八吋?xì)饴冯A梯孔為第三階梯通孔，前端為用于開設(shè)氣路連接孔的通孔，后端為用于連接螺塞桿的螺紋孔，最外側(cè)沉孔階梯為螺塞桿沉頭孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述階梯通孔的每一個(gè)階梯上均開設(shè)有一個(gè)氣路連接孔；氣路連接孔包括4個(gè)四吋?xì)饴愤B接孔、2個(gè)五吋?xì)饴愤B接孔、2個(gè)六吋?xì)饴愤B接孔、四個(gè)八吋?xì)饴愤B接孔；四吋?xì)饴愤B接孔均布于最內(nèi)圈兩個(gè)結(jié)構(gòu)圓上，且開設(shè)在四吋?xì)饴冯A梯孔上；五吋?xì)饴愤B接孔均布于直徑大于四吋結(jié)構(gòu)圓直徑的結(jié)構(gòu)圓上，且開設(shè)在五吋?xì)饴冯A梯孔上；六吋?xì)饴愤B接孔均布于直徑大于五吋結(jié)構(gòu)圓直徑的結(jié)構(gòu)圓上，且開設(shè)在六吋?xì)饴冯A梯孔上，兩個(gè)六吋?xì)饴愤B接孔中心相連的直線與兩個(gè)五吋?xì)饴愤B接孔相連的直線相垂直；八吋?xì)饴愤B接孔均布在同一個(gè)結(jié)構(gòu)圓上，其結(jié)構(gòu)圓直徑大于六吋結(jié)構(gòu)圓，且開設(shè)在八吋?xì)饴冯A梯孔上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述螺塞桿包括四個(gè)全開螺塞桿、四個(gè)八吋螺塞桿、兩個(gè)六吋螺塞桿、兩個(gè)五吋螺塞桿。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述全開螺塞桿為三段階梯軸結(jié)構(gòu)，直徑最小段為最前段，前段部分為導(dǎo)向段，第二段為螺紋段，此段直徑大于第一段，用于與托盤中螺紋端相連接，第三段為螺塞桿螺帽段，此段直徑大于螺紋段，后端面開設(shè)有用于使用螺絲刀的開口槽，前端面與螺紋段相連接的軸肩處開設(shè)有安裝密封圈的全開螺塞桿密封圈槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述八吋螺塞桿為四段階梯軸結(jié)構(gòu)，直徑最小段為最前段，前段部分為導(dǎo)向段，導(dǎo)向末端開設(shè)有一八吋螺塞桿八吋密封圈槽，第二段為八吋塞桿段，其圓柱直徑大于最前段，第三段為螺紋段，此段圓柱直徑大于第二段，螺紋用于與托盤相對(duì)應(yīng)的螺紋連接；第四段為八吋螺塞桿螺帽段，此段直徑大于螺紋段，后端面開設(shè)有用于使用螺絲刀的開口槽，前端面與螺紋段相連接的軸肩處開設(shè)有添加密封圈的八吋螺塞桿密封圈槽。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述五吋螺塞桿為五段階梯軸結(jié)構(gòu)，直徑最小段為最前段，前段部分為導(dǎo)向段，導(dǎo)向末端開設(shè)有一用于安裝密封圈的五吋螺塞桿五吋密封圈槽，第二段為五吋塞桿段，其圓柱直徑大于最前段，末端軸肩處開設(shè)有一用于安裝密封圈的五吋螺塞桿八吋密封圈槽，第三段為八吋塞桿段，其圓柱直徑大于五吋塞桿段，第四段為螺紋段，此段圓柱直徑大于八吋塞桿段，螺紋用于與托盤相對(duì)應(yīng)的螺紋連接，第五段為六吋螺塞桿螺帽段，此段直徑大于螺紋段，后端面開設(shè)有用于使用螺絲刀的開口槽，前端面與螺紋段相連接的軸肩處開設(shè)有添加密封圈的五吋螺塞桿密封圈槽。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多路承片臺(tái)托盤，其特征在于：所述六吋螺塞桿為五段階梯軸結(jié)構(gòu)，直徑最小段為最前段，前段部分為導(dǎo)向段，導(dǎo)向末端開設(shè)有一用于安裝密封圈的六吋螺塞桿六吋密封圈槽，第二段為六吋塞桿段，其圓柱直徑大于最前段，末端軸肩處開設(shè)有一用于安裝密封圈的六吋螺塞桿八吋密封圈槽，第三段為八吋塞桿段，其圓柱直徑大于六吋塞桿段，第四段為螺紋段，此段圓柱直徑大于八吋塞桿段，螺紋用于與托盤相對(duì)應(yīng)的螺紋連接，第五段為六吋螺塞桿螺帽段，此段直徑大于螺紋段，后端面開設(shè)有用于使用螺絲刀的開口槽，前端面與螺紋段相連接的軸肩處開設(shè)有添加密封圈的六吋螺塞桿密封圈槽。