[實用新型]傳送模塊裝置

有效

• 申請號: 202021546742.1
• 申請日: 2020-07-30
• 公開（公告）號: CN212967610U
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 李潤輝
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 郭立

1.一種傳送模塊裝置，其特征在于，包括：

包括腔體（1），腔體（1）底部在對徑部位分別設置有進氣孔（3）和排氣孔（4）；

傳送裝置（9），由傳動立柱（2）和水平托臺（8）組成，傳動立柱（2）穿過腔體（1）底部中心，水平托臺（8）容納在腔體（1）中；

干泵（5），設置在腔體（1）底部的排氣孔（4）中，用于排氣；

擴散器（10），設置在腔體（1）底部的進氣孔（3），一端與進氣管（11）連接，另一端伸入腔體內部將進入的氣流均勻水平擴散。

2.根據權利要求1所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述擴散器（10）由均勻水平擴散帽（12）、中空式螺栓（13）、旋緊端蓋（14）以及進氣接口（15）組成。

3.根據權利要求2所述的傳送模塊裝置，其特征在于：所述擴散器（10）上的擴散帽（12）為偏平圓筒，下圓筒面接擴散器的中空式螺栓（13）的氣體進口，上圓筒面為封閉面、圓筒側周面布有通氣小孔（21）。

4.根據權利要求3所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述圓筒側周面的通氣小孔（21）為圓形或橢圓形或扁平長方形。

5.根據權利要求3所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述通氣小孔（21）為在圓筒側周面錯落均勻布置。

6.根據權利要求4所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述圓筒側周面的橢圓形或扁平長方形通氣小孔（21）的長軸方向或長邊方向沿圓周向。

7.根據權利要求2所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述擴散器（10）上的擴散帽（12）為偏平長方體，長方體底面接擴散器的中空式螺栓（13）的氣體進口，上面為封閉面、四個側面布有通氣小孔（21）。

8.根據權利要求7所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述四個側面的通氣小孔（21）為圓形或橢圓形或扁平長方形。

9.根據權利要求8所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述四個側面橢圓形或扁平長方形的通氣小孔（21）的長軸或長邊方向呈水平向。

10.根據權利要求2所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述擴散器（10）上的擴散帽（12）的下底面距離腔體（1）底面的高度為h1，擴散帽（12）的上蓋面距離水平托臺（8）的下底面的高度為h2，h1=h2。

11.根據權利要求2所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述擴散器（10）上的擴散帽（12）的下底面距離腔體（1）底面的高度為h1，擴散帽（12）的上蓋面距離水平托臺（8）的下底面的高度為h2，h1=2xh2。

12.根據權利要求2所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述擴散器（10）還包括一軸頸部（16）與腔體底部的內表面緊密配合。

13.根據權利要求12所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述軸頸部與腔體底部的內表面緊密配合面設置有第一O型密封圈（17）。

14.根據權利要求2所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述旋緊端蓋與腔體外表面之間設置有止回墊圈（18）。

15.根據權利要求2所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述旋緊端蓋與腔體外表面之間設置有第二O型密封圈（19）。

16.根據權利要求2-6中之一所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述的進氣接口設置有過濾網片（20）。

17.根據權利要求2-6中之一所述的傳送模塊裝置，其特征在于，所述擴散器的主體材料為PVC。