[實用新型]一種開放式晶圓盒適配器

有效

• 申請號: 202021507951.5
• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN212342591U
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 唐超;林堅;盧偉
• 申請（專利權）人: 泓滸（昆山）半導體光電有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種開放式晶圓盒適配器，用于安裝于裝載臺上，所述裝載臺上設有三個定位柱(8)和夾鎖(9)，其特征在于，包括：

主體(1)，所述主體(1)上設有定位件，所述定位件用于與三個所述定位柱(8)和所述夾鎖(9)可拆卸連接；

限位塊(5)，設有多個，多個所述限位塊(5)選擇性地可拆卸安裝于所述主體(1)上以定位不同的開放式晶圓盒。

2.根據權利要求1所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，所述主體(1)包括內主體(11)和外主體(12)，所述內主體(11)為Y形板，所述外主體(12)開設有Y形的安裝孔(121)，所述內主體(11)置于所述安裝孔(121)內，且與所述外主體(12)連接。

3.根據權利要求2所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，所述定位件包括開設于所述內主體(11)上的卡位凹槽(4)和三個貫穿所述內主體(11)或所述外主體(12)的限位槽(2)，且三個所述限位槽(2)的延伸方向互不相同，所述定位柱(8)能穿設所述限位槽(2)；所述卡位凹槽(4)的一側與所述安裝孔(121)連通，所述夾鎖(9)能穿過所述安裝孔(121)抵接于所述卡位凹槽(4)的槽底。

4.根據權利要求3所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，三個所述限位槽(2)分別設置于所述內主體(11)的三個端部。

5.根據權利要求1所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，所述主體(1)上設有兩個壓塊組件(7)，且分別位于所述裝載臺的兩個感應器(6)上方，所述晶圓盒放置于所述主體(1)上能使所述壓塊組件(7)抵壓于所述感應器(6)上。

6.根據權利要求5所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，所述壓塊組件(7)包括壓塊主體(71)，所述主體(1)上設有容納槽(77)，所述壓塊主體(71)活動設置于所述容納槽(77)內，且所述壓塊主體(71)與所述容納槽(77)的槽底彈性連接，所述容納槽(77)的槽底開設有壓塊主體孔(72)，壓塊連接件(78)的一端活動穿設所述壓塊主體孔(72)與所述壓塊主體(71)連接，所述壓塊連接件(78)的另一端用于抵壓所述感應器(6)。

7.根據權利要求6所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，所述壓塊主體(71)和所述容納槽(77)的槽底對應開設有多個彈性件槽(73)，所述壓塊主體(71)與所述容納槽(77)的槽底通過多個彈性件連接，所述彈性件的一端與所述主體(1)上的所述彈性件槽(73)的槽底連接，另一端與所述壓塊主體(71)的所述彈性件槽(73)的槽底連接。

8.根據權利要求7所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，所述彈性件為彈簧(74)。

9.根據權利要求6所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，所述壓塊主體(71)上還設置有多個壓塊定位件(76)，所述容納槽(77)的槽底開設有多個與所述壓塊定位件(76)對應的壓塊定位件孔(75)，所述壓塊定位件(76)活動安裝于所述壓塊定位件孔(75)內。

10.根據權利要求1所述的開放式晶圓盒適配器，其特征在于，所述限位塊(5)包括U型限位塊和長條形限位塊。