[實用新型]一種用于印刷的菲林有效
| 申請號: | 202021507685.6 | 申請日: | 2020-07-27 |
| 公開(公告)號: | CN212694243U | 公開(公告)日: | 2021-03-12 |
| 發明(設計)人: | 鮑仁松 | 申請(專利權)人: | 安倫通訊設備(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | G03F1/38 | 分類號: | G03F1/38 |
| 代理公司: | 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232 | 代理人: | 黃珩 |
| 地址: | 215000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 印刷 | ||
1.一種用于印刷的菲林,其特征在于,包括:片基、藥膜及標記,其中
所述片基,用以承載所述藥膜,設有定位孔和/或定位點;
所述藥膜,覆在所述片基的單側表面,且所述藥膜的覆蓋范圍面積小于所述片基的表面面積;
所述標記,設在所述片基上,用以區分不同種類的菲林。
2.根據權利要求1所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記沿所述片基表面周向設置,且在所述藥膜的覆蓋范圍之外。
3.根據權利要求1所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記為對稱圖形。
4.根據權利要求3所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記為實心圓點。
5.根據權利要求3所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記為十字交叉形,且所述十字交叉形的水平方向長度等于豎直方向長度。
6.根據權利要求3所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記為實心正方形。
7.根據權利要求3所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記為圓環形。
8.根據權利要求3所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記為T字形。
9.根據權利要求3所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記為帶形。
10.根據權利要求9所述的用于印刷的菲林,其特征在于,所述標記為兩條以上帶形,任意相鄰所述帶形相互平行,且端部齊平。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其專門適用于此的容器;其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如通過電子束;其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜;其制備,例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜,例如用于校準或測試的特殊涂層或標記;其制備





