[實用新型]一種碳化硅板涂層噴涂設備

有效

• 申請號: 202021504931.2
• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN212820678U
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 郭輝;劉欣;蔡祗首;楊濤
• 申請（專利權）人: 惠州市中惠宇航半導體新材料有限公司
• 主分類號: B05B13/04
• 分類號: B05B13/04;B05B15/68;B05B12/08
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 余志軍

1.一種碳化硅板涂層噴涂設備，包括桌架(1)、噴涂機(2)，所述噴涂機(2)包括噴涂頭(3)，其特征在于，所述桌架(1)一側設有升降板(4)，所述升降板(4)一側固定設有若干導向柱(5)，所述桌架(1)一側設有若干導向孔，所述導向柱(5)均滑動連接在導向孔內側，所述桌架(1)一側設有十字連接架(6)，所述導向柱(5)另一端均固定連接在十字連接架(6)一側上，所述十字連接架(6)一側設有自動升降裝置，所述桌架(1)一側設有固定板(7)，所述固定板(7)相遠離的兩側均固定設有若干支撐桿(8)，所述支撐桿(8)一側均固定在桌架(1)一側上，所述固定板(7)一側設有H型滑孔(9)，所述H型滑孔(9)內側滑動設有滑動板(10)，所述H型滑孔(9)內一側設有通孔，所述通孔內側轉動設有A螺紋桿(11)，所述滑動板(10)一側設有A螺紋孔，所述A螺紋桿(11)通過螺紋傳動式連接在A螺紋孔內側，所述A螺紋桿(11)一端可轉動式連接在H型滑孔(9)內一側上，所述A螺紋桿(11)一端固定設有A伺服電機(12)，所述A伺服電機(12)需通過導線外接驅動控制器和電源，所述固定板(7)一側固定設有電機板(13)，所述A伺服電機(12)固定連接在電機板(13)一側上，所述滑動板(10)一側設有T型滑槽(14)，所述T型滑槽(14)內側滑動設有T型滑塊(15)，所述T型滑塊(15)一側設有自動滑動裝置，所述T型滑塊(15)一側固定設有L型架(16)，所述L型架(16)一側設有安裝孔，所述噴涂頭(3)固定連接在安裝孔內側。

2.根據權利要求1所述的一種碳化硅板涂層噴涂設備，其特征在于，所述自動升降裝置包括B螺紋桿(17)，所述十字連接架(6)一側設有B螺紋孔，所述B螺紋桿(17)通過螺紋傳動式連接在B螺紋孔內側，所述B螺紋桿(17)一端可轉動式連接在桌架(1)一側上，所述B螺紋桿(17)一端固定設有B伺服電機(18)，所述B伺服電機(18)需通過導線外接驅動控制器和電源，所述桌架(1)一側固定設有電機架(19)，所述B伺服電機(18)固定連接在電機架(19)一側上。

3.根據權利要求1所述的一種碳化硅板涂層噴涂設備，其特征在于，所述自動滑動裝置包括齒條(20)，所述齒條(20)固定連接在滑動板(10)一側上，所述T型滑塊(15)一側固定設有步進電機(21)，所述步進電機(21)需通過導線外接驅動控制器和電源，所述步進電機(21)的軸端固定設有齒輪(22)，所述齒輪(22)與齒條(20)通過嚙合傳動連接。

4.根據權利要求1所述的一種碳化硅板涂層噴涂設備，其特征在于，所述升降板(4)一側可拆卸式設有碳化硅板(23)。