[實用新型]一種線源坩堝余料檢測裝置

有效

• 申請號: 202021504128.9
• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN212864942U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 黃逸臻;孫玉俊;林仕龍
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/54
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

1.一種線源坩堝余料檢測裝置，線源坩堝，包括：坩堝本體、坩堝上蓋；所述坩堝上蓋蓋設于所述坩堝本體上，且所述坩堝上蓋上設置有多個噴嘴；其特征在于：還包括：多個的檢測裝置，所述檢測裝置用于檢測所述線源坩堝內剩余的蒸鍍材料；

所述檢測裝置為超聲波監測儀，所述超聲波監測儀設置于所述坩堝上蓋上方，且所述超聲波監測儀包括：超聲波發射探頭和超聲波接收裝置，所述超聲波發射探頭、超聲波接收裝置集成在所述超聲波監測儀內，且所述超聲波發射探頭用于發出超聲波信號，所述超聲波接收裝置用于接收超聲波信號；多個的檢測裝置的超聲波發射探頭和超聲波接收裝置排成一排且平行于坩堝本體內側底面；

或者所述檢測裝置為磁場發射裝置和磁場傳感器，所述磁場發射裝置設置于所述坩堝上蓋上方，所述磁場傳感器設置于所述坩堝本體下方；所述磁場發射裝置用于發射磁場，所述磁場傳感器用于接收磁場；多個的檢測裝置的磁場發射裝置排成一排且平行于坩堝本體內側底面，多個的檢測裝置的磁場傳感器排成一排且平行于坩堝本體內側底面。

2.根據權利要求1所述一種線源坩堝余料檢測裝置，其特征在于，還包括：PC端，所述PC端與所述超聲波監測儀電連接，或者所述PC端與所述磁場發射裝置、磁場傳感器電連接。

3.根據權利要求1所述一種線源坩堝余料檢測裝置，其特征在于，多個的所述超聲波監測儀所檢測的寬度大于所述坩堝本體內側的底面寬度。

4.根據權利要求1所述一種線源坩堝余料檢測裝置，其特征在于，多個的所述磁場發射裝置排成一排的寬度和多個的磁場傳感器排成一排的寬度相等，且所述磁場發射裝置和磁場傳感器所檢測的寬度大于所述坩堝本體內側的底面寬度。

5.根據權利要求1所述一種線源坩堝余料檢測裝置，其特征在于，所述坩堝本體的剖面為寬度大于高度的長方形。