[實用新型]一種PVD雙面鍍膜載板

有效

• 申請號: 202021487499.0
• 申請日: 2020-07-24
• 公開（公告）號: CN213895984U
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 張建德;張延任;劉義軍;徐爾強
• 申請（專利權）人: 福建鈞石能源有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種新型PVD雙面鍍膜載板，包括框架和子載板，所述子載板固定在框架上，所述框架上設有用來裝螺母的螺紋孔，所述子載板具有四邊支撐凸臺，支撐邊緣位置采用階梯斜邊式設計。本實用新型應用于高速連續物理氣相沉積設備，可以保證產能優勢，達到雙面高速連續鍍膜效果，傳動運行高效穩定，且有效地降低了PVD生產過程中產生的電池片破片、掉片及崩邊等不良率；可以解決雙面鍍膜邊際效應，解決鍍膜色差問題；可以解決雙面鍍膜邊緣繞鍍現象，提升暗電流良率，對電池片綜合良率改善明顯；可以解決保養易腐蝕問題，提高載板使用可靠性。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池制造的技術領域，尤其涉及一種PVD雙面鍍膜載板。

背景技術

PVD連續磁控濺射鍍膜設備，其雙面鍍膜方式已是高效太陽能電池鍍膜設備應用的主要技術；在PVD雙面鍍膜的工藝過程中，PVD鏤空子載板是PVD設備關鍵性的工裝治具，目前在PVD子載板工具治具中，為追求 PVD高速雙面連續鍍膜效果，普遍存在一些狀況：PVD載板高速傳動過程中，子載板的片位布局及搭邊設計至關重要，直接影響著電池生產產量、電池片的轉換效率及生產良率；其中搭邊距離太大，直接影響了電池效率，搭邊距離太小，影響了生產破片、掉片、崩邊的生產良率，并容易產生邊緣繞鍍問題，間接影響了電池效率；

再者，子載板經過多次反復鍍膜后，需要經常保養，目前常用的保養方式為腐蝕保養，經過一段時間保養后，容易被蝕刻掉，且材質容易脆化，造成載板使用壽命不長。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提供了一種實現雙面高速連續鍍膜效果，可以保證電池片承載穩定，降低破片、掉片不良率的PVD雙面鍍膜載板。

為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是：一種PVD雙面鍍膜載板，包括框架和子載板，所述子載板固定在框架上，所述框架上設有用來裝螺母的螺紋孔，通過傳感器對載板上的螺母變化進行二進位方式識別載板編號，所述子載板具有四邊支撐凸臺，支撐邊緣位置采用階梯斜邊式設計。

進一步的，所述框架包括外邊框和筋板。

進一步的，所述子載板采用鏤空10片位設計。

進一步的，所述子載板采用1個圓孔定位及5個橢圓孔固定的方式進行緊固。

由上述對本實用新型結構的描述可知，和現有技術相比，本實用新型具有如下優點：

本實用新型應用于高速連續物理氣相沉積設備，可以保證產能優勢，達到雙面高速連續鍍膜效果，傳動運行高效穩定，且有效地降低了PVD生產過程中產生的電池片破片、掉片及崩邊等不良率；可以解決雙面鍍膜邊際效應，解決鍍膜色差問題；可以解決雙面鍍膜邊緣繞鍍現象，提升暗電流良率，對電池片綜合良率改善明顯；可以解決保養易腐蝕問題，提高載板使用可靠性。

附圖說明

構成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為本實用新型的PVD載板的結構示意圖；

圖2為本實用新型的PVD載板的框架結構示意圖；

圖3為本實用新型的PVD載板的框架外邊框局部結構放大示意圖；

圖4為實用新型的PVD載板的子載板結構示意圖；

圖5為實用新型的PVD載板的子載板局部結構放大示意圖一；

圖6為實用新型的PVD載板的子載板局部結構放大示意圖二。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。