[實用新型]一種可判斷測試樣品位置高度的成像裝置

有效

• 申請號: 202021336058.0
• 申請日: 2020-07-09
• 公開（公告）號: CN212205985U
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 江紅;王冰
• 申請（專利權）人: 深圳市華唯計量技術開發有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01B15/02;G01N23/223
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 巫苑明

本實用新型公開了一種可判斷測試樣品位置高度的成像裝置，包括水平設置的安裝板以及用于驅動安裝板上下移動的升降機構，在安裝板上設有X光管組件，X光管組件的發射端穿過所述安裝板并豎直向下設置，安裝板上位于X光管組件的下方傾斜設有反光鏡，反光鏡的后方設有攝像頭，攝像頭上設有CCD；測試樣品放置在反光鏡的正下方并成像至反光鏡上，然后攝像頭便可以采集反光鏡上所成的圖像并傳遞至CCD，CCD讀取成像的清晰度，然后移動升降機構根據圖像清晰程度判斷測試樣品的相對高度，X光管組件能夠向下照射X射線形成固定的測試點，通過圖像的清晰程度可以判斷測試樣品是否到達測試點，本實用新型結構簡單，成本較低，體積較小，具有較好的測試效果。

技術領域

本實用新型屬于成像定位測試技術領域，尤其涉及一種可判斷測試樣品位置高度的成像裝置。

背景技術

能量色散型X射線熒光光譜技術以其簡便快捷、無損分析等優點，在生產、科研等各個行業都有非常廣泛的應用，并且在測量鍍層厚度方面向微型、智能、多功能、高精度、實用化的方向進了一步發展，測量的精確率已達0.1微米，精度可達到1％，相對于之前的技術已經有了大幅度的提高，它適用范圍廣，量程寬、操作簡便且價廉，是工業和科研活動中使用最為廣泛的測厚儀器。

目前市場上X射線鍍層測厚儀基本采用的定位系統大部分是通過三軸平臺移動樣品，通過成像系統進行定位，但是由于X射線熒光光譜儀在測試過程中本身對照射能量的要求比較高，光路越短越好，并且要能夠實時觀看測試樣品的圖像，當光管向下垂直照射時與所采集圖像的相機完全干涉，現有技術中此時采用復雜的成像定位系統進行定位，但是采用復雜的成像定位系統不僅成本高，而且會增長光路，便會達不到X射線熒光光譜儀在測試過程中本身對照射能量的要求；另外一種方法采用相機傾斜放置拍攝樣品，然后通過軟件進行校正圖像，配合Z軸運動對測試樣品進行定位，這種結構也相對復雜，并且會給軟件人員帶了較大的工作量，大大的增加了生產成本。

實用新型內容

本實用新型目的在于為克服現有的技術缺陷，提供一種可判斷測試樣品位置高度的成像裝置，結構簡單，成本較低，占用空間小，大大提了高測試效率、增強了測試效果。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種可判斷測試樣品位置高度的成像裝置，包括水平設置的安裝板以及用于驅動所述安裝板上下移動的升降機構，所述安裝板的上端設有X光管組件，所述X光管組件的發射端穿過所述安裝板并豎直向下設置，所述安裝板的下端并位于所述X光管組件的下方設有傾斜設置的反光鏡，所述反光鏡的后方設有攝像頭，所述攝像頭上設有CCD。

進一步的，所述反光鏡與所述安裝板之間所成的角度為45°，所述反光鏡的中心位置處設有通孔，所述通孔位于所述X光管組件的發射端的正下方。

進一步的，所述安裝板的下端固定設有定位塊，所述定位塊上設有反光鏡安裝座，所述反光鏡設于所述反光鏡安裝座上，所述反光鏡安裝座上設有與所述通孔上下對應的過孔。

進一步的，所述定位塊上位于所述反光鏡安裝座的后方設有攝像頭安裝座，所述攝像頭安裝座的后端設有攝像頭調節件，所述攝像頭的前端設于所述攝像頭調節件的后端；所述安裝板的下端還設有套設于所述攝像頭的后端外側的攝像頭固定架。

進一步的，所述安裝板的下端設有安裝架，所述安裝架上位于所述反光鏡的下方設有照明燈組。

進一步的，所述照明燈組包括兩個左右對稱設置的照明燈，所述兩個照明燈之間設有間隔。

進一步的，所述升降機構包括豎直設置的基座板、轉動設于所述基座板上的螺母、與所述螺母配套并豎直設置的滾珠絲杠、以及設于所述基座板的后端并與所述螺母傳動連接的電機，所述滾珠絲杠的上端或下端固定連接設有連接板，所述安裝板與所述連接板固定連接。