[實用新型]一種用于芯片制造的廢料回收裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202021309924.7 | 申請日： | 2020-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN213102387U | 公開（公告）日： | 2021-05-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王淑琴 | 申請（專利權(quán)）人： | 湖州靖源信息技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | B02C4/08 | 分類號： | B02C4/08;B30B9/30;B01D29/52;B01D29/94;B01D29/76;A61L2/18;A61L11/00 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246 | 代理人： | 郭曉鳳 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市湖州經(jīng)濟(jì)*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 芯片 制造 廢料 回收 裝置 | ||
1.一種用于芯片制造的廢料回收裝置，包括廢料回收裝置本體(2)，其特征在于：所述廢料回收裝置本體(2)的頂部固定連接有進(jìn)料管道(1)，所述廢料回收裝置本體(2)的內(nèi)壁固定連接有粉碎片(3)，所述廢料回收裝置本體(2)的內(nèi)壁活動連接有轉(zhuǎn)軸(5)，所述轉(zhuǎn)軸(5)的外壁活動連接有粉碎筒(4)，所述轉(zhuǎn)軸(5)的一端貫穿廢料回收裝置本體(2)的內(nèi)壁并延伸至廢料回收裝置本體(2)的外壁，所述廢料回收裝置本體(2)的外壁固定連接有電機(jī)(20)，所述電機(jī)(20)的輸出軸通過聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)軸(5)活動連接，所述廢料回收裝置本體(2)的內(nèi)壁固定連接有過濾板(6)，所述過濾板(6)的一側(cè)固定連接有連接板(19)，所述連接板(19)的底部固定連接有倒液板(10)，所述倒液板(10)的一側(cè)與廢料回收裝置本體(2)的內(nèi)壁固定連接，所述廢料回收裝置本體(2)的外壁開設(shè)有出液口(9)；
所述廢料回收裝置本體(2)的外壁活動連接有液壓桿(11)，所述液壓桿(11)的一端貫穿廢料回收裝置本體(2)的外壁并延伸至廢料回收裝置本體(2)的內(nèi)部，所述液壓桿(11)的一端活動連接有壓板(12)，所述廢料回收裝置本體(2)的正面活動連接有出料板(13)，所述廢料回收裝置本體(2)的外壁開設(shè)有第一連接通孔(8)，所述廢料回收裝置本體(2)通過第一連接通孔(8)活動連接有抽板(7)，所述廢料回收裝置本體(2)的外壁固定連接有儲液桶(16)，所述儲液桶(16)的底部活動連接有進(jìn)液管(15)，所述廢料回收裝置本體(2)的外壁開設(shè)有第二連接通孔(14)，所述進(jìn)液管(15)的一端通過第二連接通孔(14)貫穿廢料回收裝置本體(2)的外壁并延伸至廢料回收裝置本體(2)的內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造的廢料回收裝置，其特征在于：所述粉碎片(3)的形狀大小與粉碎筒(4)的形狀大小均相互匹配，且粉碎片(3)的數(shù)量與粉碎筒(4)的數(shù)量均為兩個，且每一個粉碎片(3)和每一個粉碎筒(4)為一組，且兩組粉碎片(3)和粉碎筒(4)關(guān)于廢料回收裝置本體(2)的橫向中心線對稱分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造的廢料回收裝置，其特征在于：所述過濾板(6)為網(wǎng)格狀過濾板，且過濾板(6)和倒液板(10)分別為傾斜狀過濾板和傾斜狀倒液板，且過濾板(6)的數(shù)量、連接板(19)數(shù)量和倒液板(10)的數(shù)量均兩個，且兩個過濾板(6)、兩個連接板(19)和兩個倒液板(10)均關(guān)于廢料回收裝置本體(2)的橫向中心線對稱分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造的廢料回收裝置，其特征在于：所述出液口(9)的數(shù)量為兩個，兩個出液口(9)均位于兩個倒液板(10)的一側(cè)，且兩個出液口(9)關(guān)于廢料回收裝置本體(2)的橫向中心線對稱分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造的廢料回收裝置，其特征在于：所述廢料回收裝置本體(2)的正面開設(shè)有觀察槽，且觀察槽的內(nèi)壁固定連接有觀察玻璃(17)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造的廢料回收裝置，其特征在于：所述過濾板(6)靠近儲液桶(16)一側(cè)的底部固定連接有限位板(18)，所述廢料回收裝置本體(2)的外壁活動連接有抽板(7)，且抽板(7)的一側(cè)貫穿廢料回收裝置本體(2)的外壁并延伸至兩個連接板(19)的一側(cè)，且抽板(7)的形狀大小與限位板(18)的形狀大小均相互匹配，且抽板(7)與限位板(18)卡合連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于芯片制造的廢料回收裝置，其特征在于：所述出料板(13)的正面固定連接有拉環(huán)，且出料板(13)的中心線與廢料回收裝置本體(2)的中心線重合。
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