[實用新型]一種簡易晶圓脫水機有效
| 申請號： | 202021306193.0 | 申請日： | 2020-07-07 |
| 公開（公告）號： | CN212434586U | 公開（公告）日： | 2021-01-29 |
| 發明（設計）人： | 汪良恩;汪曦凌;李建利 | 申請（專利權）人： | 安徽芯旭半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 章勝強 |
| 地址： | 247100 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 簡易 脫水機 | ||
1.一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：包括帶有脫水筒的脫水機，所述脫水筒內對稱固定設置有多個用于放置花籃的脫水籃，所述花籃用于承載晶圓。
2.如權利要求1所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述脫水籃的數量為2個、3個、4個、5個或6個。
3.如權利要求2所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述多個花籃以脫水筒的軸心為中心對稱設置。
4.如權利要求3所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述脫水籃為不銹鋼板制成的方形脫水籃，所述脫水籃的側板和底板上設有脫水孔。
5.如權利要求4所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述脫水機為家用波輪洗衣機或波輪脫水機。
6.如權利要求5所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述脫水籃焊接固定在所述脫水筒的內壁上，所述脫水籃設置于脫水筒內的筒底上。
7.如權利要求6所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述花籃嵌入式安放在所述脫水籃內，所述花籃的開口指向脫水筒的軸心。
8.如權利要求6所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述脫水籃與脫水筒的內壁的焊接處涂布有防銹涂層。
9.如權利要求6所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述脫水籃的軸線向脫水筒的軸線偏轉0-5°，所述脫水籃的開口斜向內指向脫水筒的軸線方向。
10.如上述任一權利要求所述的一種簡易晶圓脫水機，其特征在于：所述脫水機的外部設有配重臺和配重塊，所述配重塊為片狀。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
