[實(shí)用新型]一種用于晶圓檢測的移動防振平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021303713.2
• 申請日: 2020-07-06
• 公開（公告）號: CN213017474U
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莫景釗;葉緯;莫景新
• 申請（專利權(quán)）人: 廣東唯是晶圓科技有限公司
• 主分類號: F16F15/08
• 分類號: F16F15/08;F16F15/023;F16F15/02
• 代理公司: 北京卓特專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11572
• 代理人: 段宇

1.一種用于晶圓檢測的移動防振平臺，其特征在于：包括承托平臺(1)、支撐腳(2)及防振座(3)，所述支撐腳(2)設(shè)于所述承托平臺(1)底部，支撐腳(2)至少設(shè)置兩個(gè)，相鄰的所述支撐腳(2)之間連接有拱形橫梁(4)，支撐腳(2)的頂部設(shè)有氣浮式減振器(5)，承托平臺(1)通過所述氣浮式減振器(5)與支撐腳(2)連接，所述防振座(3)內(nèi)填充有防振填充料，防振座(3)的頂部設(shè)有與支撐腳(2)配合的安裝槽(6)，支撐腳(2)設(shè)于所述安裝槽(6)內(nèi)，支撐腳(2)內(nèi)設(shè)有減振彈簧(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓檢測的移動防振平臺，其特征在于：所述支撐腳(2)內(nèi)設(shè)有定位柱(8)，所述定位柱(8)底部設(shè)有支撐塊(9)，所述減振彈簧(7)套設(shè)于定位柱(8)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓檢測的移動防振平臺，其特征在于：所述支撐腳(2)的兩側(cè)設(shè)有安裝塊(10)，所述安裝塊(10)的底面與所述防振座(3)的頂面貼合，安裝塊(10)通過螺栓與防振座(3)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓檢測的移動防振平臺，其特征在于：所述承托平臺(1)內(nèi)設(shè)有空腔，所述空腔內(nèi)設(shè)有拱形板(11)，空腔內(nèi)填充有減振材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓檢測的移動防振平臺，其特征在于：所述承托平臺(1)頂部設(shè)有緩振橡膠墊(12)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓檢測的移動防振平臺，其特征在于：所述支撐腳(2)的側(cè)部與所述承托平臺(1)的底部之間設(shè)有加強(qiáng)筋(13)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓檢測的移動防振平臺，其特征在于：所述防振填充料采用橡膠、海綿或是泡沫材料制成。