[實用新型]一種碳化硅爐爐底板升降旋開結構

有效

• 申請號: 202021302368.0
• 申請日: 2020-07-06
• 公開（公告）號: CN213142286U
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 葉鋼飛;胡建榮;倪軍夫;石明智;阮文星;毛志飛;傅林堅;曹建偉
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B29/36
• 分類號: C30B29/36;C30B35/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

本實用新型涉及碳化硅單晶生長設備的結構設計領域，特別涉及一種碳化硅爐爐底板升降旋開結構。包括支撐座，支撐座有兩個，沿豎向相對設置，兩個支撐座間設有平行的支撐柱和導向桿，支撐柱上設有線性驅動組件；回轉支撐臺一端通過第一滑套和第二滑套分別與導向桿和線性驅動組件相連，另一端與旋轉托架相連，旋轉托架上端面通過緩沖結構設有爐底板，爐底板能在線性驅動組件的作用下實現升降以及旋轉運動；支撐柱上設有多個限位傳感器和限位組件。本實用新型一方面實現了爐底板升降旋開的自動化，另一方面實現爐底板升降、旋開、旋回的位置的控制，避免人工操作的不確定性。

技術領域

本實用新型涉及碳化硅單晶生長設備的結構設計領域，特別涉及一種碳化硅爐爐底板升降旋開結構。

背景技術

目前碳化硅單晶生長設備普遍采用以下兩種方法取放爐底板上的物料，一種是配置升降機構實現爐底板升降，使用該結構需要二次取放物料。另外一種是使用升降小車實現爐底板升降以及移栽，升降小車與設備位置對接操作較繁瑣，操作過程中容易損壞物料，造成不必要的損失。因此碳化硅爐單晶生長設備配置一種爐底板同時具有升降以及移栽功能的結構意義重大。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是，克服現有技術的不足，提供一種碳化硅爐爐底板升降旋開結構。

為解決上述的技術問題，本實用新型采用的解決方法是：

提供一種用于碳化硅爐爐底板的升降旋開結構，包括支撐座、旋轉托架、回轉支撐臺和導向桿；支撐座有兩個，沿豎向相對設置，兩個支撐座間設有平行的支撐柱和導向桿，支撐柱上設有線性驅動組件；

回轉支撐臺一端通過第一滑套和第二滑套分別與導向桿和線性驅動組件相連，另一端與旋轉托架相連，旋轉托架上端面通過緩沖結構設有爐底板，爐底板能在線性驅動組件的作用下實現升降以及旋轉運動；

支撐柱上設有多個限位傳感器和限位組件，能發送信號至線性驅動組件，進而限位爐底板升降位置，限位組件，用于限位爐底板旋開角度。

作為一種改進，導向桿圓周面設有導向槽，用于對爐底板旋轉運動時進行導向。

作為一種改進，限位組件位置能進行調整以滿足爐底板位置定位需求。

作為一種改進，線性驅動組件包括電機、減速裝置和滾珠絲桿。

作為一種改進，限位組件上設有自動吸合裝置，用于實現爐底板旋開、旋回位置的固定。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果為：

本實用新型一方面實現了爐底板升降旋開的自動化，另一方面實現爐底板升降、旋開、旋回的位置的控制，避免人工操作的不確定性。

附圖說明

圖1為爐底板升降旋開結構的整體結構示意圖；

圖2為爐底板升降旋開結構的工作過程示意圖。

其中附圖標記為：

1-支撐座，2-限位傳感器，3-限位傳感器，4-第一滑套，5-旋轉托架，6-回轉支撐臺，7-第二滑套，8-線性驅動組件，9-導向桿，10-限位傳感器，11-爐底板，12-緩沖結構，13-支撐托架，14-限位組件，15-減速裝置，16-限位組件，17-電機。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細表述。

一種用于碳化硅爐爐底板的升降旋開結構，包括支撐座1、旋轉托架5、回轉支撐臺6和導向桿9。支撐座1有兩個，沿豎向相對設置，兩個支撐座1間設有平行的支撐柱和導向桿9，支撐柱上設有線性驅動組件8。線性驅動組件8包括電機17、減速裝置15和滾珠絲桿。