[實用新型]光伏電池工藝爐內的載片舟

有效

• 申請號: 202021144105.1
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN211929454U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 陳慶敏;吳曉松;李丙科;朱加杰;李建新
• 申請（專利權）人: 無錫松煜科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 江蘇漫修律師事務所 32291
• 代理人: 熊啟奎;周曉東

本實用新型公開了一種光伏電池工藝爐內的載片舟，包括舟體架、活動分流板和若干個載片架單元，舟體架沿長度方向包括左右兩個側欄，兩個側欄的兩端通過橫向欄桿或者固定分流板固定連接，若干個載片架單元成一排放置在舟體架上，載片架單元內安裝硅片；在相鄰載片架單元之間和/或載片架單元與舟體架的端部之間插入活動分流板；固定分流板和活動分流板均開設有多個均勻分布的氣孔，對氣體進行均勻分流。本實用新型通過舟體架上的固定分流板或活動分流板保證氣流的均勻性，提高硅片的成品質量。而且載片舟上的載片架單元和活動分流板的組合形式多樣，安裝靈活，可適用于不同尺寸的硅片規格或者不同的工藝要求。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池制造設備領域，尤其是一種光伏電池工藝爐內的載片舟。

背景技術

太陽能光伏電池是一種把太陽的光能直接轉化為電能的新型電池。目前通常使用的是以硅為基底的硅光伏電池，包括單晶硅、多晶硅和非晶硅光伏電池。太陽能光伏電池的制備過程中，硅片需要依次經過制絨、擴散、刻蝕、鍍膜以及印刷等工序。擴散工藝是指硅片以石英舟為載體放入擴散爐中，在一定溫度下向擴散爐內通入氮氣和擴散源，以使硅片的表面擴散沉積PN結。鍍膜工藝是指采用石英管或其他材料作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進石英管中進行沉積反應，硅片在沉積腔室內發生沉積或鈍化后完成鍍膜。因此，在光伏電池的制備過程中，在工藝爐（比如擴散爐或者沉積爐）中需要有承載硅片的舟體，并由推拉舟托起承載硅片的舟體將硅片送入工藝爐內。

現有技術中的載片舟通常包括底部的舟托和上部的舟架，舟架包括位于工藝腔室軸線方向的兩側面板以及將兩側支架垂直相連的多個橫桿，橫桿四個為一組構成一個立方形的載片單元，硅片擺放在石英舟上時與工藝腔室的軸線方向平行，參與反應的氣體穿流式流過硅片之間。但是，由于現有的載片舟的兩端采用橫向欄桿作為連接結構，在反應氣流向硅片之間流動時會受到局部阻擋而發生氣流不均勻的現象，從而影響硅片質量和成品率。現有的載片舟為一個固定的整體結構，載片舟適用于大小尺寸固定的硅片，無法對內部進行靈活的調整，適應性差。

實用新型內容

本申請人針對上述現有的載片舟存在的兩端氣流不均導致硅片質量受到影響、載片舟整體結構和配置無法靈活調整、無法適用多種規格硅片的情形等缺點，提供了一種結構合理的光伏電池工藝爐內的載片舟，能夠實現工藝爐內對硅片的穿流式吹氣，保證氣流的均勻性，提高硅片的成品質量，而且載片舟上的載片架與分流板組合形式多樣，安裝靈活，適用于不同尺寸的硅片規格。

本實用新型所采用的技術方案如下：

一種光伏電池工藝爐內的載片舟，包括舟體架、活動分流板和若干個載片架單元，舟體架沿長度方向包括左右兩個側欄，兩個側欄的兩端通過橫向欄桿或者固定分流板固定連接，若干個載片架單元成一排放置在舟體架上，載片架單元內安裝硅片；在相鄰載片架單元之間和/或載片架單元與舟體架的端部之間插入活動分流板；固定分流板和活動分流板均開設有多個均勻分布的氣孔，對氣體進行均勻分流。

作為上述技術方案的進一步改進：

當舟體架的端部為固定分流板時，固定分流板的板面上開設有陣列分布的多個氣孔，頂邊為弧形或者方形，底邊設有兩個延伸出的支腳。

當舟體架的端部為橫向欄桿時，橫向欄桿連接兩個側欄的底部，向下設有兩個延伸出的支腳。

當舟體架的端部為橫向欄桿時，在載片架單元與橫向欄桿之間設有插入的活動分流板。

活動分流板為兩層平行間隔且通過連接桿連接的透氣板，板面上開設有陣列分布的多個氣孔，頂邊為弧形或者方形，底邊為平底。

活動分流板的左右兩側卡在舟體架的兩個側欄內。

載片架單元包括左面板、右面板和連接左面板、右面板的若干橫桿，左面板和右面板的外側面上設有凸塊。