[實(shí)用新型]拆卸工具有效
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202021135614.8 | 申請(qǐng)日: | 2020-06-18 |
公開(公告)號(hào): | CN212461612U | 公開(公告)日: | 2021-02-02 |
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 袁鵬華;火天樾 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海華力集成電路制造有限公司 |
主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;B26D1/00;B26D7/26 |
代理公司: | 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211 | 代理人: | 郭立 |
地址: | 201315 上海市浦*** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索關(guān)鍵詞: | 拆卸 工具 | ||
1.一種拆卸工具,其特征在于,包括:
安裝座,所述安裝座包含安裝槽;
切割片,所述切割片設(shè)置在所述安裝槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拆卸工具,其特征在于,所述安裝座上還設(shè)有螺紋孔,所述螺紋孔中配設(shè)有緊定螺釘,所述緊定螺釘靠抵所述切割片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拆卸工具,其特征在于,所述切割片包含刀尖部和托持部,所述刀尖部的形狀為三角形,所述三角形為等腰鈍角三角形,所述托持部為長(zhǎng)方形,所述托持部的遠(yuǎn)離所述刀尖部的一側(cè)設(shè)置在所述安裝槽內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拆卸工具,其特征在于,所述等腰鈍角三角形的頂角度數(shù)為110°~130°,所述等腰鈍角三角形的底邊對(duì)應(yīng)的高為21~23mm,所述長(zhǎng)方形的長(zhǎng)為78~82mm,所述長(zhǎng)方形的寬27~29mm,所述切割片的厚度為0.25~0.35mm,所述長(zhǎng)方形的長(zhǎng)對(duì)應(yīng)所述等腰鈍角三角形的底邊。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的拆卸工具,其特征在于,所述切割片的形狀的角都圓角。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拆卸工具,其特征在于,所述等腰鈍角三角形的底邊和所述托持部的其中第一邊貼合布置,形成一五邊形的外廓,據(jù)此形成的五個(gè)角有:等腰鈍角三角形的頂角,等腰鈍角三角形的第一腰與長(zhǎng)方形的第二邊的第一夾角,長(zhǎng)方形的第二邊與長(zhǎng)方形的第三邊的第二夾角,長(zhǎng)方形的第三邊與長(zhǎng)方形的第四邊的第三夾角,長(zhǎng)方形第四邊與等腰鈍角三角形的第二腰的第四夾角;所述頂角的圓角半徑大于所述第一夾角、第二夾角、第三夾角、第四夾角的圓角半徑,所述頂角的圓角半徑為4mm,所述第一夾角、第二夾角、第三夾角、第四夾角的圓角半徑為2mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拆卸工具,其特征在于,所述切割片的材料為聚醚醚酮。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造