[實用新型]一種晶圓拋光檢測工裝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021129019.3
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN212779096U
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 雷超
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州市兆豐精密機械有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/30
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 金香云

本實用新型提供的一種晶圓拋光檢測工裝，包括工作臺、固定支撐架、旋轉(zhuǎn)電機、旋轉(zhuǎn)平臺、夾緊銷和檢測組件；固定支撐架位于工作臺上，與固定臺固定連接；旋轉(zhuǎn)電機位于工作臺的下方，主軸向上延伸；旋轉(zhuǎn)平臺位于固定支架上，與旋轉(zhuǎn)電機相連接，跟隨旋轉(zhuǎn)電機旋轉(zhuǎn)；夾緊銷位于旋轉(zhuǎn)平臺上，與旋轉(zhuǎn)平臺固定連接，同時對應(yīng)待檢測的晶圓；檢測組件位于旋轉(zhuǎn)平臺的一側(cè)；與工作臺固定連接，對應(yīng)旋轉(zhuǎn)平臺。本實用新型提供的一種晶圓拋光檢測工裝，通過旋轉(zhuǎn)電機帶動旋轉(zhuǎn)平臺旋轉(zhuǎn)，利用紅外感應(yīng)器設(shè)定平面范圍，晶圓在范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，一旦超出范圍就會形成報警，關(guān)閉電機，提高檢測效率和準(zhǔn)確度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種檢測工裝，尤其涉及一種晶圓拋光檢測工裝。

背景技術(shù)

多晶硅經(jīng)過前期的多次提純后，生成約直徑12寸的硅棒，硅棒經(jīng)專用切割機切片后，經(jīng)過多次的拋光，打磨，實現(xiàn)表面光潔度達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)，因此對于拋光設(shè)備和檢測裝置的要求很高，傳統(tǒng)的光潔度檢測以及跳動檢測都是利用檢測設(shè)備在晶圓平面上抽取檢測點，如此就無法對整個平面進(jìn)行有效檢測，而且影響檢測效率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于：提供一種晶圓拋光檢測工裝，將晶圓放置在檢測設(shè)備上，通過紅外感應(yīng)器布置在被測晶圓的上方，利用設(shè)定好的平面范圍進(jìn)行感應(yīng)檢查，而晶圓在工作臺上旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)快速檢測，提高檢測效率。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案是：一種晶圓拋光檢測工裝，包括工作臺、固定支撐架、旋轉(zhuǎn)電機、旋轉(zhuǎn)平臺、夾緊銷和檢測組件；所述的固定支撐架位于所述的工作臺上，與所述的工作臺固定連接；所述的旋轉(zhuǎn)電機位于所述的工作臺的下方，主軸向上延伸；所述的旋轉(zhuǎn)平臺位于所述的固定支撐架上，與所述的旋轉(zhuǎn)電機相連接，跟隨所述的旋轉(zhuǎn)電機旋轉(zhuǎn)；所述的夾緊銷位于所述的旋轉(zhuǎn)平臺上，與所述的旋轉(zhuǎn)平臺固定連接，同時對應(yīng)待檢測的晶圓；所述的檢測組件位于所述的旋轉(zhuǎn)平臺的一側(cè)；與所述的工作臺固定連接，對應(yīng)所述的旋轉(zhuǎn)平臺；

所述的檢測組件包括檢測支架、紅外感應(yīng)器和報警器；所述的檢測支架位于所述的工作臺上，同時位于所述的旋轉(zhuǎn)平臺的一側(cè)，對應(yīng)所述的旋轉(zhuǎn)平臺；所述的紅外感應(yīng)器位于所述的檢測支架上，與所述的檢測支架固定連接，對應(yīng)待檢測的晶圓的表面；所述的報警器位于所述的工作臺的一側(cè)，與所述的紅外感應(yīng)器電連接。

進(jìn)一步的，所述的旋轉(zhuǎn)電機的外軸上設(shè)置有連接桿，所述的連接桿貫穿所述的工作臺和固定支撐架，與所述的旋轉(zhuǎn)平臺相連接。

進(jìn)一步的，所述的夾緊銷設(shè)置有多個，分布在所述的旋轉(zhuǎn)平臺的圓周上。

進(jìn)一步的，所述的紅外感應(yīng)器設(shè)定有平面范圍，對應(yīng)晶圓的表面平面度和跳動范圍。

進(jìn)一步的，所述的報警器聯(lián)通所述的紅外感應(yīng)器，當(dāng)待測晶圓超出設(shè)定的平面范圍時，向所述的報警器下達(dá)指令，進(jìn)行報警，同時聯(lián)通所述的旋轉(zhuǎn)電機，停止電機轉(zhuǎn)動。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的一種晶圓拋光檢測工裝，通過旋轉(zhuǎn)電機帶動旋轉(zhuǎn)平臺旋轉(zhuǎn)，利用紅外感應(yīng)器設(shè)定平面范圍，晶圓在范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，一旦超出范圍就會形成報警，關(guān)閉電機，提高檢測效率和準(zhǔn)確度。

附圖說明

圖1示出本實用新型的主視圖。

其中：1.工作臺、2.固定支撐架、3.旋轉(zhuǎn)電機、4.旋轉(zhuǎn)平臺、5.夾緊銷、6.檢測組件、7.檢測支架、8.紅外感應(yīng)器、9.報警器、10.連接桿。

具體實施方式