[實用新型]一種石墨舟雙向校正工裝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202021125823.4 | 申請日: | 2020-06-17 |
| 公開(公告)號: | CN212209436U | 公開(公告)日: | 2020-12-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張孟彤 | 申請(專利權(quán))人: | 上海弘楓實業(yè)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 上海天翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31224 | 代理人: | 徐家豪 |
| 地址: | 201715 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 石墨 雙向 校正 工裝 | ||
本實用新型公開了一種石墨舟雙向校正工裝,包括底座和上蓋,所述底座沿長度方向上間隔設(shè)置有若干下校正條,每一下校正條沿長度方向間隔設(shè)置有若干下校正槽,所述上蓋沿長度方向上間隔設(shè)置有若干上校正條,每一上校正條沿長度方向間隔設(shè)置有若干上校正槽,下校正條和上校正條上對應(yīng)的下校正槽和上校正槽位置對齊設(shè)置,使得石墨舟上同一片舟片的底端和頂端分別插入下校正槽和上校正槽中。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及石墨舟生產(chǎn)領(lǐng)域,特別涉及一種石墨舟雙向校正工裝。
背景技術(shù)
目前光伏太陽板的市場競爭激烈,所以降低生產(chǎn)成本,提高生產(chǎn)效率是各個客戶迫在眉睫的任務(wù)。PECVD在高溫氮化硅氣氛環(huán)境中使用,因為氮化硅逐步浸滲到石墨材料內(nèi)部,長期使用后石墨材料膨脹后收縮不回來,裝配孔間距發(fā)生變化,其狀態(tài)穩(wěn)定和一致性在一定程度上影響著良品率,再次裝配后需要校正石墨舟,以穩(wěn)定品質(zhì)。目前石墨舟校正均采用單側(cè)校正,這種校正方式效率低下,不利于提高生產(chǎn)效率。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的上述不足和缺陷,提供一種石墨舟雙向校正工裝,以解決上述問題。
本實用新型所解決的技術(shù)問題可以采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
一種石墨舟雙向校正工裝,包括底座和上蓋,所述底座沿長度方向上間隔設(shè)置有若干下校正條,每一下校正條沿長度方向間隔設(shè)置有若干下校正槽,所述上蓋沿長度方向上間隔設(shè)置有若干上校正條,每一上校正條沿長度方向間隔設(shè)置有若干上校正槽,下校正條和上校正條上對應(yīng)的下校正槽和上校正槽位置對齊設(shè)置,使得石墨舟上同一片舟片的底端和頂端分別插入下校正槽和上校正槽中。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,所述上校正槽和下校正槽的槽口位置設(shè)置為擴口結(jié)構(gòu)。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,所述底座上設(shè)置有驅(qū)動上蓋活動的驅(qū)動裝置。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,所述上蓋的第一端鉸接在所述底座的第一端上,驅(qū)動裝置用以帶動上蓋繞底座的第一端翻轉(zhuǎn)活動。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,驅(qū)動裝置包括氣動彈簧支撐桿,氣動彈簧支撐桿的固定端鉸接在所述底座的第一端,氣動彈簧支撐桿的活動端鉸接在上蓋的第一端。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,所述底座上設(shè)置有滑動板,若干下校正條設(shè)置在所述滑動板上。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,滑動板的兩端分別設(shè)置有供石墨舟的腳對應(yīng)固定的定位塊。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,所述底座的第一端和上蓋的第一端設(shè)置有展開鎖定機構(gòu),展開鎖定機構(gòu)在氣動彈簧支撐桿運動到打開位置時鎖定上蓋和底座的展開角度。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,底座的第二端和上蓋的第二端上設(shè)置有到位固定裝置,確保上蓋能夠壓緊到位。
在本實用新型的一個優(yōu)選實施例中,所述到位固定裝置包括設(shè)置在底座第二端上的鎖槽以及設(shè)置在上蓋第二端上用以與鎖槽配合的插腳,所述鎖槽與插腳之間設(shè)置有銷孔且通過鎖緊銷連接。
由于采用了如上的技術(shù)方案,本實用新型利用上蓋和底座上的下校正槽和上校正槽,可以雙向校正石墨舟舟片裝配后的相對位置,可以提升客戶現(xiàn)場石墨舟清洗后再次裝配的一致性,較為明顯地提升產(chǎn)品的良品率。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1是本實用新型一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖1的I處放大圖。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





